氧化镓晶片精细研磨液.doc

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配方氧化镓晶片精细研磨液

原料配比

原料

配比(质量份)

1#

2#

3#

4#

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6#

7#

8#

9#

10#

11#

12#

氧化铝粉

2

2.5

3

3.5

4

2

2.5

3

3.5

4

2

2

4

5

6

7

8

4

5

6

7

8

4

4

悬浮液

0.5

0.75

1

1.5

2

0.5

0.75

1

1.5

2

0.5

0.5

悬浮液

分散剂

0.25

0.5

1

1.25

1.75

0.25

0.5

1

1.25

1.75

0.25

0.25

悬浮剂

4.5

5

5.25

5.5

6.5

4.5

5

5.25

5.5

6.5

4.5

4.5

pH调节剂

0.2

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