CN111699540B 扫描电子显微镜的自动对焦方法 （塔斯米特株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111699540B(45)授权公告日2025.01.10

(21)申请号201980011846.6

(22)申请日2019.01.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111699540A

(43)申请公布日2020.09.22

(30)优先权数据

2018-0197722018.02.07JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2020.08.05

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2019/0014682019.01.18

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2019/155850JA2019.08.15

(73)专利权人塔斯米特株式会社

地址日本神奈川县横浜市港北区新横浜二丁目6番23号

(72)发明人久保田大辅

(74)专利代理机构上海华诚知识产权代理有限公司31300

专利代理师刘煜

(51)Int.CI.

H01J37/21(2006.01)

H01J37/147(2006.01)

H01J37/28(2006.01)

(56)对比文件

JP2005142038A,2005.06.02

JPA,1998.06.09

审查员杨芳

权利要求书1页说明书5页附图7页

(54)发明名称

扫描电子显微镜的自动对焦方法

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CN111699540B(57)摘要本发明涉及利用隔行扫描的扫描电子显微镜的自动对焦技术。扫描电子显微镜的自动对焦方法如下：一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描所述试样，由此生成在试样的表面上形成的图案(160)的间隔剔除图像，一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案(160)的间隔剔除图像的工序，

CN111699540B

(57)摘要

CN111699540B权利要求书1/1页

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1.一种扫描电子显微镜的自动对焦方法，其特征在于，

一边使电子束的扫描位置在与扫描方向垂直的方向上错开规定的多个像素，一边用电子束反复扫描试样，由此生成在所述试样的表面上形成的图案的间隔剔除图像，

一边改变所述电子束的焦点位置和照射位置，一边多次执行生成所述图案的间隔剔除图像的工序，由此生成作为所述图案的不同部位的图像的多个间隔剔除图像，

计算清晰度不同的所述多个间隔剔除图像的每个的多个清晰度，

根据所述多个清晰度确定最佳焦点位置，

改变所述电子束的照射位置是指每次执行生成所述图案的间隔剔除图像的工序时的电子束的最初扫描位置与前次执行生成所述图案的间隔剔除图像的工序时的电子束的最初扫描位置相比在与所述扫描方向垂直的方向上向同一侧移动。

2.根据权利要求1所述的自动对焦方法，其特征在于，

通过改变施加到所述扫描电子显微镜的偏转器的电压而改变所述电子束的焦点位置。

3.根据权利要求1所述的自动对焦方法，其特征在于，

生成每个间隔剔除图像时的所述电子束的扫描范围涉及所述扫描电子显微镜的整个视野。

CN111699540B说明书1/5页

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扫描电子显微镜的自动对焦方法

技术领域

[0001]本发明涉及扫描电子显微镜的自动对焦技术，尤其涉及利用隔行扫描的自动对焦技术。

背景技术

[0002]扫描电子显微镜用于晶片表面上形成的布线图案的尺寸测量、布线图案的缺陷检测等晶片检查。扫描电子显微镜一般具有使电子束自动对焦在晶片表面上的自动对焦功能。图11是用于说明以往的自动对焦技术的示意图。如图11所示，扫描电子显微镜一边一点一点地偏移焦点位置一边生成多个图像，并计算每个图像的清晰度。更具体而言，扫描电子显微镜对各图像进行微分处理，并对图像上的图案边缘的清晰度进行计算。然后，扫描电子显微镜确定对应于最高清晰度的图像的焦点位置。

[0003]现有技术文献

[0004]专利文献

[0005]专利文献1:日本专利特开2007-109408号公报

发明内容

[0006]发明要解决的问题

[0007]然而，如图11所示，以往的自