1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 化学工业

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液1.doc

用于抛光多晶硅的化学机械抛光液1.doc

    用于抛光多晶硅的化学机械抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    8#

    9#

    10#

    二氧化硅

    15

    15

    15

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    甘油单油酸酯

    －

    0.1

    －

    －

    －

    －

    －

    ―

    －

    －

    聚乙二醇（PEG）（分子量为400）

    －

    －

    0.2

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    聚氧乙烯（20）失水山梨醇单月桂酸酯（Tween20）（分子量1227）

    0.2

    0.1

    －

    10

    0.2

    0.01

    0.005

    0.001

    0.0005

    －

    聚氧乙烯（20）失水山梨醇单硬酯酸酯（Tween60）（分子量1311）

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    －

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >