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铌酸锂晶体抛光液.doc

铌酸锂晶体抛光液.doc

    铌酸锂晶体抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    20%硅溶胶（40~50nm）

    570

    －

    －

    －

    40%硅溶胶（60~70nm）

    －

    630

    －

    －

    20%硅溶胶（60~70nm）

    －

    －

    570

    －

    40%硅溶胶（40~50nm）

    －

    －

    －

    630

    氧化剂

    优氯净

    1.5

    3

    1.5

    3

    活性剂

    脂肪醇聚氧乙烯醚

    0.5

    －

    －

    －

    壬基酚聚氧乙烯醚

    －

    1

    －

    －

    烷基酚聚氧乙烯醚

    －

    －

    1.5

    －

    阴离子聚丙烯酸盐

    －

    －

    －

    2

    PH调节剂

    KOH

    0.2

    －

    －

    0.2

    乙二胺

    －

    0.3

    －

    0.1

    氢氧化四乙基胺

    －

    －

    0.3

    －

    分散剂

    P

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