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高精度复合抛光液.doc

高精度复合抛光液.doc

    高精度复合抛光液

    原料配比

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    氧化铈

    250

    250

    水

    4417

    4417

    30%平均粒径为80纳米左右的氧化硅或氧化铝

    333

    333

    KOH

    调PH至5~11

    调PH至10

    表面活性剂

    －

    适量

    制备方法

    （1）取氧化铈，加入水中，室温下搅拌均匀，制成氧化铈悬浮液。

    （2）向氧化铈悬浮液中加入30%平均粒径为80纳米左右的氧化硅或氧化铝，进一步搅匀。

    （3）加入KOH，将PH值调至5~11，制成抛光液初品

    （4）向抛光液初品中加入适量的表面活性剂。制成抛光液。

    原料配伍本品各组分质量份配比范围为：氧化铈249~251、水4416~4418、纳米

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