原创力文档用于抛光低介材料的抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
1#
2#
3#
4#
5#
6#
7#
8#
9#
10#
11#
12#
13#
14#
硅溶胶颗粒（100nm）
10
5
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
10
BTA
－
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
0.1
多氨基多醚基四亚甲基膦酸（PAPEMP）
－
0.2
0.2
0.2
0.2
－
－
－
－
－
－
0.2
0.05
0.2
2-膦酸丁烷-1,2,4三羧酸
－
－
－
－
－
0.2
－
－
－
－
－
－
－
－
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