原创力文档用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
原料配比
原料
配比（质量份）
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二氧化硅（120nm）
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二氧化硅（100nm）
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15
15
15
10
2
30
10
10
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二氧化硅（70nm）
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10
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二氧化钛（150nm）
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二氧化二铝（30nm）
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