W掺杂VO₂_AZO薄膜：制备工艺、结构特征与性能调控的深度剖析.docx

W掺杂VO?/AZO薄膜：制备工艺、结构特征与性能调控的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，智能材料在各个领域的应用越来越广泛，其中W掺杂VO?/AZO薄膜因其独特的性能而备受关注。VO?是一种具有热致相变特性的材料，在68℃左右会发生从半导体相到金属相的转变，同时伴随着光学和电学性质的显著变化，这种特性使得VO?在智能窗、光电器件等领域展现出巨大的应用潜力。然而，纯VO?薄膜的相变温度较高，限制了其在实际中的应用，通过掺杂W元素可以有效降低VO?薄膜的相变温度，使其更适合实际应用场景。

AZO薄膜即掺铝氧化锌薄膜，是一种重要的透明导电氧化物（