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均热板扩散烧结成型质量控制

潘国向

（唐山钢铁集团微尔自动化有限公司，河北唐山063000）

摘要：1~3mm厚度均热板产品在试产过程中均出现过形变、砂眼、裂纹、粘连等质量缺陷问题。剖析成因与高温环境中铜片的延展性能相关，与石墨盘盘洁净度和尺寸精度相关，与烧结后铜片的脱模效果相关。为解决均热板在扩散烧结过程中产生的质量问题，文中进行了铜片高温延展性能的试验，测试石墨盘盘接触面平整度，对扩散烧结参数进行优化，采用氮化硼脱模方法等，保证了均热板在扩散烧结工艺的产品质量。

关键词：均热板；扩散焊接；氮化硼；粘连；石墨盘