一氟甲烷（氟甲烷）可应用范围较广 高纯电子级一氟甲烷在半导体工业中发展空间大.doc

一氟甲烷（氟甲烷）可应用范围较广高纯电子级一氟甲烷在半导体工业中发展空间大

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一氟甲烷，也直接称作氟甲烷，别名甲基氟、HFC-41、R41，CAS号593-53-3，化学式CH3F，分子量34.03，无色气体，有醚样气味，熔点-142℃，沸点-78.4℃，临界温度44.5℃，微溶于水，可溶于醇、醚等有机