CN116297327A 一种基于SiO2-PEG复合薄膜的光纤湿度传感器及制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN116297327A(43)申请公布日2023.06.23

(21)申请号202310162727.9

(22)申请日2023.02.24

(71)申请人南京信息工程大学

地址224002江苏省盐城市盐南高新区新

河街道文港南路105号

(72)发明人赖敏李金泽张恒恒陈昱欣宋华堂刘博

(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224

专利代理师董建林

(51)Int.CI.

GO1N21/41(2006.01)

GO1N21/31(2006.01)

C09D1/00(2006.01)

C09D171/02(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图6页

(54)发明名称

一种基于SiO?/PEG复合薄膜的光纤湿度传感器及制作方法

(57)摘要

CN116297327A本发明公开了一种基于Si0?/PEG复合薄膜的光纤湿度传感器及制作方法，首先将光纤中间段的涂覆层和塑料包层去除，以二氧化硅薄膜作为光纤中间段的新包层，将聚乙二醇薄膜作为湿敏材料覆盖于二氧化硅薄膜之上，制成光纤湿度传感器。此光纤湿度传感器的原理是聚乙二醇薄膜的亲水性改变了二氧化硅薄膜的折射率，最终影响了光在光纤中的传输。本发明解决了现有技术中光纤湿度传感器成本较高、工作范围小、灵敏度较低和响应慢的问题，相比于传统传感器，本发明制成的光纤湿度传感器具有更高的灵敏度和更快的响应时间。SiO?/PEG双层薄膜将有效提高传感器对湿度测量的灵敏度、测量范围、重

CN116297327A

去除光纤中间段的涂覆层和塑料包层；

去除光纤中间段的涂覆层和塑料包层；

制备二氧化硅悬浮液，将二氧化硅悬浮液涂覆在光纤中间段的表面，干燥后形成二氧化硅薄膜；

制备聚乙二醇悬浮液，将聚乙二醇悬浮液涂覆在二氧化硅薄膜的表面，干燥后形成聚乙二醇薄膜。

CN116297327A权利要求书1/2页

2

1.一种基于SiO?/PEG复合薄膜的光纤湿度传感器的制作方法，其特征在于，包括：

去除光纤(1)中间段的涂覆层(2)和塑料包层；

制备二氧化硅悬浮液，将二氧化硅悬浮液涂覆在光纤(1)中间段的表面，干燥后形成二氧化硅薄膜(3);

制备聚乙二醇悬浮液，将聚乙二醇悬浮液涂覆在二氧化硅薄膜(3)的表面，干燥后形成聚乙二醇薄膜(4)。

2.根据权利要求1所述的一种基于SiO?/PEG复合薄膜的光纤湿度传感器的制作方法，其特征在于，所述去除光纤(1)中间段的涂覆层(2)和塑料包层，包括：

步骤A1:用米勒钳将光纤(1)中间段3.2cm长的涂覆层(2)去除；

步骤A2:用玻璃刀将光纤(1)中间段3.2cm长的塑料包层去除；

步骤A3:将处理后的光纤(1)竖直放置在清洗液中，超声清洗45分钟，清洗后烘干备用；所述清洗液由去离子水和无水乙醇按1:1的比例混合而成。

3.根据权利要求1所述的一种基于SiO?/PEG复合薄膜的光纤湿度传感器的制作方法，其特征在于，所述制备二氧化硅悬浮液，将二氧化硅悬浮液涂覆在光纤(1)表面，干燥后形成二氧化硅薄膜(3),包括：

步骤B1:将稀盐酸滴加到正硅酸四乙酯与无水乙醇的混合物中，在磁力搅拌器上溶解搅拌，并通过超声振荡得到二氧化硅悬浮液；

步骤B2:将光纤(1)竖直放入二氧化硅悬浮液中，并将光纤(1)从二氧化硅悬浮液中匀速拉出，对光纤(1)两端的涂覆层(2)进行擦拭；

步骤B3:用氮气将光纤(1)中间段表面涂覆的二氧化硅悬浮液吹干，将光纤(1)放入恒温干燥箱中干燥，二氧化硅悬浮液干燥后形成二氧化硅薄膜(3)。

4.根据权利要求1所述的一种基于SiO?/PEG复合薄膜的光纤湿度传感器的制作方法，其特征在于，所述制备聚乙二醇悬浮液，将聚乙二醇悬浮液涂覆在二氧化硅薄膜(3)表面，干燥后形成聚乙二醇薄膜(4),包括：

步骤C1:将聚乙二醇溶液与去离子水混合，在磁力搅拌器上溶解搅拌，得到聚乙二醇悬浮液；

步骤C2:将涂覆有二氧化硅薄膜(3)的光纤(1)竖直放入聚乙二醇悬浮液中，并将光纤(1)从聚乙二醇悬浮液中匀速拉出，对光纤(1)两端的涂覆层(2)进行擦拭；

步骤C3:用氮气将二氧化硅薄膜(3)表面涂覆的聚乙二醇悬浮液吹干，将光纤(1)放入恒温干燥箱中干燥，聚乙二醇悬浮液干燥后形成聚乙二醇薄膜(4)。

5.根据权利要求3所述的一种基于Si