CN115790917A 一种柔性压阻式传感器、可穿戴电子设备及制作方法 （浙江水利水电学院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115790917A(43)申请公布日2023.03.14

(21)申请号202211515823.9

(22)申请日2022.11.30

(71)申请人浙江水利水电学院

地址310018浙江省杭州市上城区经济技

术开发区2号大街508号

(72)发明人闫树斌张晓宇朱传辉刘鹏伟

刘光李挺松崔洋黄碧漪

吴秀山

(74)专利代理机构上海欣创专利商标事务所

(普通合伙)31217专利代理师俞鸿

(51)Int.CI.

GO1L1/18(2006.01)

GO1L1/22(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图6页

(54)发明名称

一种柔性压阻式传感器、可穿戴电子设备及制作方法

(57)摘要

CN115790917A本申请提供了一种柔性压阻式传感器、可穿戴电子设备及制作方法，柔性压阻式传感器包括第一PDMS薄膜、第二PDMS薄膜、导电薄膜和叉指电极；所述第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜的一侧带有棘状结构，所述第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜上的棘状结构相对设置，所述导电薄膜为多壁碳纳米管和石墨粉末复合形成的导电薄膜，所述导电薄膜设置在第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜之间，所述叉指电极设置在导电薄膜的一侧。本申请传感器的外部负载达到一定值时，棘层结构可以有效减小有效感应面积，从而导致传感器上的压力值增加；导电薄膜具有优越的机械柔韧性、稳定性和导电性等优点；该传感器灵敏度高，

CN115790917A

CN115790917A权利要求书1/1页

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1.一种柔性压阻式传感器，其特征子在于，包括第一PDMS薄膜、第二PDMS薄膜、导电薄膜和叉指电极；

所述第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜的一侧带有棘状结构，所述第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜上的棘状结构相对设置；

所述导电薄膜为多壁碳纳米管和石墨粉末复合形成的导电薄膜；所述导电薄膜设置在第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜之间，所述叉指电极设置在导电薄膜的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种柔性压阻式传感器，其特征在于，所述第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜上的棘状结构通过以砂纸为模板形成。

3.根据权利要求1所述的一种柔性压阻式传感器，其特征在于，所述第一PDMS薄膜和/或第二PDMS薄膜上设置有矩形的定位框，所述定位框用于对导电薄膜和叉指电极进行定位。

4.根据权利要求1所述的一种柔性压阻式传感器，其特征在于，所述导电薄膜和叉指电极的尺寸均为10mm*10mm。

5.根据权利要求1所述的一种柔性压阻式传感器，其特征在于，还包括封装结构，所述封装结构用于封装第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜的边缘。

6.根据权利要求5所述的一种柔性压阻式传感器，其特征在于，所述封装结构为高温胶带，所述高温胶带密封第一PDMS薄膜和第二PDMS薄膜的边缘。

7.制作权利要求1-6任一所述一种柔性压阻式传感器的方法，其特征在于，包括以下步

骤，

(1)制作PDMS薄膜：将PDMS溶液与PDMS固化剂按10:1的重量比混合，制备出PDMS预聚体；将PDMS预聚物置于烧杯中，用搅拌器搅拌15分钟；将PDMS混合物涂覆在模板上形成带有棘状结构的薄膜；将带有棘状结构的PDMS薄膜在真空干燥器中脱气30分钟以去除气泡；在70℃固化两小时后，将具有棘状结构的PDMS薄膜剥离，在无水乙醇和超纯水中冲洗两次以去除表面杂质，得到带有棘状结构的PDMS薄膜；

(2)制作导电薄膜：在20ml乙醇溶液中加入1.2g多壁碳纳米管和1.32g石墨粉制备导电液体；将导电液体置于烧杯中，室温下搅拌10分钟；在上述溶液中加入15ml的PDMS溶液，搅拌10分钟；在70℃的温度下，将溶液放置在鼓风机中蒸发1小时，使无水乙醇完全蒸发；在溶液中加入3ml的PDMS固化剂；混合物被涂覆到玻璃薄片上；将导电膜放入真空干燥器中脱气30分钟，以去除气泡；在70℃恒温干燥箱中固化4h后，将导电膜剥离，用无水乙醇和超纯水冲洗两次，去除表面杂质，得到导电薄膜；

(3)对导电薄膜、叉指电极置于两个PDMS薄膜之间，封装PDMS薄膜、导电薄膜和叉指电极。

8.一种可穿戴电子设备，其特征在于，包括权利要求1-6任一所述的一种柔性压阻式传感器，还包括检测电路，所述检测电路