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基于自组装掩膜一体化制造的纳米针成型研究.pdf

基于自组装掩膜一体化制造的纳米针成型研究.pdf

    摘要

    摘要

    介于分子和微米尺度的纳米结构(Nanostructure)由于其独特的物理、化学和光学特

    性，在生物医学、光电子器件、催化及能源等领域展现出广泛的应用前景。而近些年来，

    纳米针(Nanoneedle)结构由于其高深宽比、尖锐顶端等独特的结构特性在细胞转染、药物

    递送以及高灵敏度信号检测等方面具有重要应用价值，而相关制备方法会直接决定纳米

    针结构的尺寸、形状和排列方式从而影响其性能表现。因此，探索出一种高

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