CN117190993A 一种类环形mems陀螺仪及其制作方法 （上海大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117190993A(43)申请公布日2023.12.08

(21)申请号202311000890.1

(22)申请日2023.08.09

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人许杨陈建霖王诗男王楠古元冬

(74)专利代理机构上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31317

专利代理师张宁展

(51)Int.CI.

GO1C19/5663(2012.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种类环形MEMS陀螺仪及其制作方法

(57)摘要

CN117190993A一种类环形MEMS陀螺仪，包括第一基板，该第一基板上形成有谐振结构、电极组件，以及用于支撑所述谐振结构的支撑锚点；第二基板，该第二基板上形成有凹槽，从而使所述第一基板和第二基板键合后，形成容纳所述谐振结构的真空腔；采用类环形的谐振结构，由复数个悬浮环与复数个悬浮梁构成，悬浮环是由复数个悬浮环长方体首尾衔接而成的线性多边形，各悬浮环由第一基板的中心沿轴线由内向往分布，相邻悬浮环的各悬浮环长方体之间由悬浮梁相连，悬浮梁是由四个长方体首尾顺次衔接围成、且内开口的横断面呈菱形。本发明有效减少制造误差，使性能

CN117190993A

CN117190993A权利要求书1/1页

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1.一种类环形MEMS陀螺仪，包括：

第一基板，该第一基板上形成有谐振结构、电极组件，以及用于支撑所述谐振结构的支撑锚点；

第二基板，该第二基板上形成有凹槽，从而使所述第一基板和第二基板键合后，形成容纳所述谐振结构的真空腔；

其特征在于，所述谐振结构由复数个悬浮环与复数个悬浮梁构成，所述悬浮环是由复数个悬浮环长方体首尾衔接而成的线性多边形，各悬浮环由所述第一基板的中心沿轴线由内向往分布，相邻悬浮环的各悬浮环长方体之间由所述悬浮梁相连，最内圈悬浮环的各悬浮环长方体与位于中央的支撑锚点之间由所述悬浮梁相连，最外圈悬浮环的各悬浮环长方体与位于两侧的支撑锚点之间由所述悬浮梁相连，所述悬浮梁是由四个长方体首尾顺次衔接围成、且内开口的横断面呈菱形。

2.根据权利要求1所述的类环形MEMS陀螺仪，其特征在于，所述悬浮梁的宽度为5-10um,锐角角度为30-55°。

3.根据权利要求1所述的类环形MEMS陀螺仪，其特征在于，所述凹槽的底部凹面处形成有薄膜吸气剂。

4.根据权利要求1所述的类环形MEMS陀螺仪，其特征在于，所述电极组件包括外侧电极和内侧电极，所述内侧电极分布于所述第一基板的中心，作为驱动电极，所述外侧电极围绕分布在所述最外圈悬浮环外，作为检测电极。

5.一种类环形MEMS陀螺仪的制作方法，提供第一基板和第二基板，其特征在于，该方法包括：

在第一基板上形成支撑锚点、谐振结构和电极组件；

在第二基板上形成凹槽，并在该凹槽内形成薄膜吸气剂；

将第一基板的电极引线面与第二基板的凸起面进行键合，形成内含所述谐振结构以及所述吸气剂的真空腔；

在第二基板上形成通孔，露出所述第一基板上的电极。

6.根据权利要求1所述的类环形MEMS陀螺仪的制作方法，其特征在于，所述谐振结构与所述电极组件形成电容。

7.根据权利要求1所述的类环形MEMS陀螺仪的制作方法，其特征在于，所述第一基板由下至上包括基底、埋氧层和顶硅。

CN117190993A说明书1/4页

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一种类环形MEMS陀螺仪及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及惯性技术和微机电系统技术领域，尤其涉及一种MEMS陀螺仪及其制作方法。

背景技术

[0002]微机械谐振陀螺仪随着微机电系统(MEMS)技术的成熟而取得了不断进展，因具有体积小、功耗低、易集成、成本低等优势被广泛应用于惯性导航系统、姿态控制、航空航天、军事、汽车和消费电子等领域。MEMS陀螺仪的研究和发展已成为微纳技术领域的热点和重要方向，其结构设计也已经从早期的框架式、音叉式逐步向微半球形、环形等过渡。其中环形结构陀螺仪是当前灵敏度较高的MEMS陀螺仪，并且加工工艺相对简单，但加工过程中引入的一些缺陷会极大地影响器件的性能。另外