CN115235534A 一种液体压力测量与污染监测的微型传感器及其制作方法 （南方科技大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115235534A(43)申请公布日2022.10.25

(21)申请号202210630170.2

(22)申请日2022.06.06

(71)申请人南方科技大学

地址518055广东省深圳市南山区桃源街

道学苑大道1088号

(72)发明人李携曦喻彬璐李静

(74)专利代理机构深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)44268

专利代理师张永盛

(51)Int.CI.

GO1D21/02(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图5页

(54)发明名称

一种液体压力测量与污染监测的微型传感器及其制作方法

(57)摘要

CN115235534A本发明公开了一种液体压力测量与污染监测的微型传感器及其制作方法，微型传感器包括：印制电路板；氮化镓光芯片，所述氮化镓光芯片设置在所述印制电路板上，用于发射光信号以及将光信号转换为光电流信号，并在光信号发生变化时输出相应的光电流信号；高分子薄膜，所述高分子薄膜设置在所述氮化镓光芯片上方，并与所述氮化镓光芯片形成一密闭腔体；其中，所述高分子薄膜的表面在受力时会产生变形。本发

CN1152355