CN109607469B 基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器及其制作方法 （四川理工学院）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN109607469B(45)授权公告日2024.04.12

(21)申请号201910011530.9

(22)申请日2019.01.07

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN109607469A

(43)申请公布日2019.04.12

(73)专利权人四川理工学院

地址644000四川省宜宾市临港经济技术

开发区大学城188号

(72)发明人郑富中吴晨光杨兴周兆英吴英蒲杰张杰

(74)专利代理机构北京金宏来专利代理事务所

(特殊普通合伙)11641专利代理师杜正国陆华

(51)Int.CI.

B81B3/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

B82Y30/00(2011.01)

B82Y40/00(2011.01)

C01B32/159(2017.01)

G01B7/16(2006.01)

(56)对比文件

CN209536965U,2019.10.25

US2011204020A1,2011.08.25

US2012025330A1,2012.02.02

WO2009126952A2,2009.10.15

WO2015133387A1,2015.09.11

CN102313818A,2012.01.11

CN104157834A,2014.11.19

CN105609636A,2016.05.25

CN107037102A,2017.08.11

DE102006048537A1,2008.04.17

US2010127242A1,2010.05.27

US2010263908A1,2010.10.21

US2011183206A1,2011.07.28

FuzhongZheng等.Large-scaledirectedassemblyofsingle-walledcarbonnanotubedevicesbyalternatingcurrentcoupling

dielectrophoresis.Carbon.2017,693-699.

周琪.单壁碳纳米管环境传感器的简易组装与性能研究.功能材料与器件学报.2012,第18卷(第5期),350-354.

审查员王俊

权利要求书1页说明书5页附图1页

(54)发明名称

基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器及其制作方法

(57)摘要

CN109607469B本发明提供基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器及其制作方法，利用硅微加工技术，在柔性基底上设置电极对；然后通过交流耦合介电电泳的方法，使单壁碳纳米管在悬浮液中的电场力作用下定向沉积在柔性基底上的电极对间；接着配比饱和的Au电镀液，实施区域选择性电沉积Au技术，实现Au电极上的定域沉积Au压覆单壁碳纳米管。本发明实现了单根或单束单壁碳纳米

CN109607469B

CN109607469B权利要求书1/1页

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1.单壁碳纳米管悬空结构，其特征在于，包括由多个平行电极对有序排列组成的电极对阵列、基底(1)和单壁碳纳米管(7),所述电极对阵列一极为设在基底(1)一侧的独立电极阵列(5),另一极为设在基底(1)另一侧的非独立电极阵列(6),所述非独立电极阵列(6)与信号源的输入端(2)连接，信号源的输出端(3)悬空放置在独立电极阵列(5)的顶部；

所述独立电极阵列(5)由若干个独立电极组成，所述非独立电极阵列(6)由若干个相互之间电连接的非独立电极组成，所述单壁碳纳米管(7)定向悬空放置在独立电极和非独立电极间；所述基底(1)为柔性基底；

所述电极对之间的间距小于5μm,所述独立电极与非独立电极之间间隔为5～10μm,所述独立电极与非独立电极均为微电极，所述微电极为金微电极或铂微电极；

信号源的输出端(3)与独立电极阵列(5)的距离为0.4～0.6mm;

所述基底(1)表面铺设有分散液层。

2.基于权利要求1所述单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器，其特征在于，包括柔性基底、多个平行电极对有序排列组成的电极对阵列、单