CN109612407A 一种聚酰亚胺薄膜光纤光栅柔性曲率传感器及其制作方法 （北京信息科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN109612407A

(43)申请公布日2019.04.12

(21)申请号201811643902.1

(22)申请日2018.12.29

(71)申请人北京信息科技大学

地址100085北京市海淀区清河小营东路

12号

(72)发明人祝连庆孙广开庄炜曲道明何巍宋言明刘锋

(74)专利代理机构北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙)11468

代理人陈朝阳

(51)Int.CI.

G01B11/24(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

一种聚酰亚胺薄膜光纤光栅柔性曲率传感器及其制作方法

h2(57)摘要

h2

CN109612407A本发明属于光纤光栅传感测量领域，公开一种聚酰亚胺薄膜光纤光栅柔性曲率传感器，多个结构相同的聚酰亚胺薄膜组，所述聚酰亚胺薄膜组，包括FBG光纤光栅传感器(2)、聚酰亚胺薄膜(1),其特征在于，将多层所述聚酰亚胺薄膜紧密贴合在一起，在所述多层聚酰亚胺薄膜的不同深度位置布设有一个FBG光纤光栅传感器。本发明可用于对设定范围的曲率进行测量。具有结构简

CN109612407A

CN109612407A权利要求书1/1页

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1.一种聚酰亚胺薄膜光纤光栅柔性曲率传感器，多个结构相同的聚酰亚胺薄膜组，所述聚酰亚胺薄膜组，包括FBG光纤光栅传感器(2)、聚酰亚胺薄膜(1),其特征在于，将多层所述聚酰亚胺薄膜紧密贴合在一起，在所述多层聚酰亚胺薄膜的不同深度位置设有一个FBG光纤光栅传感器。

2.根据权利要求1所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器，其特征在于优选地，所述多层聚酰亚胺薄膜数量为10层。

3.根据权利要求1所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：1)选取多个聚酰亚胺薄膜组；2)将每个10层聚酰亚胺薄膜紧密贴合在一起，每个10层聚酰亚胺薄膜的不同深度位置布设有一个FBG光纤光栅传感器；3)以FBG光纤光栅传感器布设位置为界，制作成多个不同深度的聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器，再对多个所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器分别编号。

4.根据权利要求3所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器的制作方法，其特征在于，步骤一，所述聚酰亚胺薄膜数量为5组。

5.根据权利要求3所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器的制作方法，其特征在于，步骤二，每层所述聚酰亚胺薄膜厚度为0.1mm。

6.根据权利要求3所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器的制作方法，其特征在于，步骤三，多个所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器的聚酰亚胺薄膜上、下厚度比分别为1:

9、2:8、3:7、4:6和5:5。

7.根据权利要求3所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器的制作方法，其特征在于，步骤三，所述聚酰亚胺薄膜光纤光栅曲率传感器编号为1~5号。

CN109612407A说明书1/4页

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一种聚酰亚胺薄膜光纤光栅柔性曲率传感器及其制作方法

技术领域

[0001]本发明属于属于光纤光栅传感测量领域，具体涉及一种聚酰亚胺薄膜光纤光栅柔性曲率传感器。

背景技术

[0002]随着软体机器人领域的快速发展，对于软体机器人形状的实时监测越来越重要，急需集成能够感知形状、压力和温度等参数，并且准确传递软体机器人动作行为的传感系统。曲率作为软体机器人形状传感的重要参数，适用的曲率传感器的研究显得尤为关键。传统的刚性传感器，例如：编码器、金属和半导体应变计等，难以应用于软体机器人当中，是因为刚性元件与软体材料难以匹配。

[0003]光纤传感器在过去几年中一直蓬勃发展，因为它比传统刚性电子传感器具有独特的优势，包括其重量轻和体积小，长距离测量的传输损耗低，瞬间响应，免受电磁干扰，化学惰性和无毒，即对身体无害的体内传感器。光纤传感器的独特性能使其成为软体机器人和生物医学应用的理想选择。迄今为止，已经研究了几种基于光纤的曲率传感器方案，包括使用干涉测量结构进行相位调制，具有独特结构的特种光纤以及各种类型的光纤光栅。虽然干涉测量结构和特种光纤方案通常比大多数其他替代方案具有更高的灵敏度，但由于结构复杂性和制造成本高，它们不利于实现。

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