CN109817767A 一种微型器件及其制作方法 （南京中电熊猫平板显示科技有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN109817767A

(43)申请公布日2019.05.28

(21)申请号201811568350.2

(22)申请日2018.12.21

(71)申请人南京中电熊猫平板显示科技有限公司

地址210033江苏省南京市栖霞区南京液

晶谷天佑路7号

申请人南京中电熊猫液晶显示科技有限公

司

南京华东电子信息科技股份有限公

司

(72)发明人朱充沛高威周宇王贤娜

郁杰

(51)Int.CI.

H01L33/00(2010.01)

H01L33/20(2010.01)

权利要求书2页说明书7页附图5页

(54)发明名称

一种微型器件及其制作方法

(57)摘要

CN109817767A本发明提出一种微型器件及其制作方法，在形成该微型器件的外延层之前，先形成牺牲层并且对牺牲层进行图形化的处理。制作方法包括：S1、衬底上形成图形化的牺牲层；S2、所述牺牲层上形成外延层，一部分所述外延层形成在牺牲层上，其余所述外延层形成在缓冲层上；S3、移除牺牲层以及位于牺牲层上的外延层；S4、所述外延层上形成图形化的金属层，形成LED;S5、转移位于衬底上的LED,形成微型器件。本发明通过外延

CN109817767A

CN109817767A权利要求书1/2页

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1.一种微型器件的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、衬底上形成平坦化的缓冲层；

S2、在所述缓冲层上形成绝缘膜，对绝缘膜刻蚀形成具有多个阵列排布的镂空区域的牺牲层；

S3、在所述牺牲层上形成包括第一外延层和第二外延层的外延层，所述第一外延层形成在镂空区域内，所述第二外延层形成在牺牲层上；

S4、移除所述牺牲层以及位于牺牲层上的第二外延层；

S5、在所述第一外延层上形成第一金属层，所述第一外延层和第一金属层组成LED;

S6、转移所述LED并形成微型器件。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一外延层和第二外延层互不连接。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一外延层和第二外延层的厚度相同，所述牺牲层的厚度大于第一外延层的厚度。

4.一种微型器件的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、在衬底上形成绝缘膜，对绝缘膜刻蚀形成具有多个阵列排布的镂空区域的牺牲层；

S2、在所述牺牲层上形成包括第一缓冲层和第二缓冲层的缓冲层，所述第一缓冲层形成在镂空区域内，所述第二缓冲层形成在牺牲层上；

S3、所述缓冲层上形成包括第一外延层和第二外延层的外延层，所述第一外延层形成在镂空区域内且形成在第一缓冲层上，所述第二外延层位于牺牲层上且形成在第二缓冲层上；

S4、移除所述牺牲层以及位于牺牲层上的第二缓冲层和第二外延层；

S5、在所述第一外延层上形成第一金属层，所述第一外延层和第一金属层组成LED;

S6、转移所述LED并形成微型器件。

5.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述第一缓冲层和第二缓冲层互不连接，所述第一外延层和第二外延层互不连接。

6.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于，所述第一缓冲层和第二缓冲层的厚度相同，所述第一外延层和第二外延层的厚度相同，所述牺牲层的厚度大于第一缓冲层和第一外延层的总厚度。

7.根据权利要求1或4所述的制作方法，其特征在于，所述步骤S5进一步包括：

S51、在所述第一外延层上覆盖一层平坦化的光阻，图形化所述光阻，去除所述第一外延层上的光阻，形成光阻层；

S52、在所述第一外延层上形成第一金属层，一部分所述第一金属层形成在第一外延层上，其余所述第一金属层形成在光阻层上；

S53、移除所述光阻层以及位于光阻层上的第一金属层，所述衬底上形成多个所述LED。

8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述光阻层的厚度大于第一外延层和第一金属层的总厚度。

9.根据权利要求1或4所述的制作方法，其特征在于，所述步骤S6进一步包括：

S61、提供一涂布有一层粘合层的暂态基板，所述暂态基板通过粘合层与第一金属层粘合；

CN109817767A权利要求书2/2页

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S62、解离所述衬底与缓冲层，移除所述缓冲层，多个LED形成在所述暂态基板上；

S63、解粘所述