CN109142783A 一种新型梳齿电极板微加速度计及其制作方法 （杭州电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN109142783A

(43)申请公布日2019.01.04

(21)申请号201810818464.1

(22)申请日2018.07.24

(71)申请人杭州电子科技大学

地址310018浙江省绍兴市下沙高教园区

(72)发明人洪文涛董林玺

(74)专利代理机构绍兴市越兴专利事务所(普通合伙)33220

代理人蒋卫东

(51)Int.CI.

G01P15/08(2006.01)

G01P15/125(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图4页

(54)发明名称

一种新型梳齿电极板微加速度计及其制作方法

(57)摘要

CN109142783A本发明公开了一种包含新型梳齿电极板的微加速度计。本发明中的微加速度计由下列部分组成：硅层的锚点、质量块，U型梁、栅形电极、驱动器锚点，驱动器U型梁，驱动器块、改进梳齿极板，防吸合固定质量块；衬底层；铝电极层。可动的栅形电极和固定极板的梳齿电极形成了电容对，在梳齿结构电极板上刻蚀凹槽可以有效减小阻尼，在对凹槽的具体结构做了理论分析和仿真验证之后，继续优化了凹槽的间距、形状等结构，