CN1828975A 有机电致发光屏电极的制作方法 （上海广电电子股份有限公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200610024068.9

[51]Int.Cl.

HO1L51/56(2006.01)

HO1L21/28(2006.01)

HO5B33/10(2006.01)

[43]公开日2006年9月6日[11]公开号CN1828975A

[22]申请日2006.2.22

[21]申请号200610024068.9

[71]申请人上海广电电子股份有限公司地址200060上海市长寿路97号26楼

共同申请人上海大学

[72]发明人张志林李晓峰张积梅

[74]专利代理机构上海开祺知识产权代理有限公司代理人李兰英季良赳

权利要求书1页说明书4页附图2页

[54]发明名称

有机电致发光屏电极的制作方法

[57]摘要

一种有机电致发光屏电极的制作方法，在制作前电极的过程中，当刻制出透明电极条及其间隙之后，先不去掉覆盖在透明电极条上的光刻胶条，而是用溶剂溶解光刻胶条，使光刻胶条的长宽收缩，露出透明电极条的边缘。然后在其上面覆盖一层无机绝缘层，再将覆盖在透明电极条上的光刻胶条连同覆盖在它上面的绝缘层一起去掉，留下是包住透明电极条边缘和覆盖透明电极条之间间隙的绝缘层；制作背电极的过程中采用拉线模具和一次蒸镀制成背电极条的方法。比在先技术制作前后电极省去了二次光刻的工艺过程，缩短了制作电极的过程，提高了制作精度。

200610024068.9权利要求书第1/1页

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1、一种有机电致发光屏电极的制作方法，分为前电极和背电极的制作过程，其中前电极的制作过程是：

1首先在发光屏的透明基片上覆盖一层透明导电膜；

2在透明导电膜上涂上一层光刻胶层；

3在上述的光刻胶层上置放上一掩膜板，并用紫外光源进行光刻，将光刻胶层刻制成光刻胶条；

4对上述覆盖有光刻胶条的透明导电膜进行蚀刻，经蚀刻后留下覆盖有光刻胶条的透明电极条及透明电极条之间的间隙；

其特征在于：

5用溶剂溶解上述覆盖在透明电极条上的光刻胶条，使光刻胶条的长宽收缩，露出透明电极条的边缘；

6在其上面覆盖一层无机绝缘层；

7采用一般的去胶液或用激光去胶的方法，将覆盖在透明电极条上的光刻胶条及覆盖在它上面的无机绝缘层一起去掉，留下覆盖住透明电极条边缘和透明电极条之间间隙的无机绝缘层；

所述的背电极的制作过程中，采用拉线模具和一次蒸镀的方法制作背电极条。

2、根据权利要求1所述的有机电致发光屏电极的制作方法，其特征在于所述的溶解覆盖在透明电极条上的光刻胶条的溶剂是低于一般显影液浓度30%至50%的显影液。

3、根据权利要求1所述的有机电致发光屏电极的制作方法，其特征在于所述的溶解覆盖在透明电极条上的光刻胶条至光刻胶条的长宽收缩到露出透明电极条的边缘5微米到10微米为止。

4、根据权利要求1所述的有机电致发光屏电极的制作方法，其特征在于所述的覆盖的无机绝缘层是由无机绝缘材料氧化物，或氮化物，或硫化物，或氟化物构成。

5、根据权利要求1所述的有机电致发光屏电极的制作方法，其特征在于所述的覆盖无机绝缘层的方法可以采用真空蒸发的方法，或者采用高频溅射的方法，或者采用溶胶凝胶的方法。

200610024068.9说明书第1/4页

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有机电致发光屏电极的制作方法

技术领域

本发明涉及一种电极的制作方法，特别是涉及一种有机电致发光屏的电极的制作方法。

背景技术

一般的有机电致发光屏(或称有机电致发光显示屏一OLED)需要制作前电极和背电极。制作发光屏的首道工序就是制作前电极。制作前电极是将透明导电膜层刻制成条状的电极。

在先技术中，前电极的制作过程，如图1所示的制作过程：1首先在发光屏的玻璃基片1上覆盖一层ITO(氧化铟锡)透明导电膜2;2在ITO透明导电膜2上涂上一层光刻胶层3;3在光刻胶层3上置放一相对应电极条掩膜的掩膜板4,并用紫外光源5进行光刻，刻制成与电极条相对应的光刻胶条6;

4用腐蚀刻制的方法，刻去两两光刻胶条6之间所露出的ITO透明导电膜，即刻制出ITO电极条7和两电极条之间的间隙8;5去掉覆盖ITO电极条7上的光刻胶条6;为了防止ITO电极条边缘漏电，要再用光刻的方法在ITO电极的边缘做一层绝缘层，然后再做隔离柱为最