CN1797201A 微型图像的制作方法 （财团法人工业技术研究院）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局[51]Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200410103534.3

[43]公开日2006年7月5日[11]公开号CN1797201A

[22]申请日2004.12.29

[21]申请号200410103534.3

[71]申请人财团法人工业技术研究院

地址台湾省新竹县竹东镇中兴路四段一九

五号

[72]发明人陈锦泰邱庆龙洪基彬

[74]专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所代理人刘新宇王一斌

权利要求书2页说明书14页附图12页

[54]发明名称

微型图像的制作方法

[57]摘要

本发明涉及一种微型图像的制作方法，包括下列步骤：提供一清洁无污染的媒介物体；将光致抗蚀材料的微流体布着于媒介物体的表面而形成一第一微流体层；以及利用一第一掩膜板对第一微流体层进行曝光与显影，并获得所欲的精确的微型图像。其中，第一微流体层显影前的宽度大于第一微流体层显影后的微型图像的宽度，而且，第一微流体层显影前的高度大于第一微流体层显影后的微型图像的高度。本发明克服了膜厚平