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差压传感器的方案设计案例

目录

TOC\o1-3\h\u3308差压传感器的方案设计案例 1

157941.1总体方案设计 1

27861.2SOI单晶硅压阻压力芯片电路设计原理 2

260411.1.1半导体压阻效应原理 3

110581.1.2桥式电路测量压力原理 4

166961.1.3单晶硅压阻压力传感器 6

211201.3求差电路设计原理 10

206191.4滤波电路设计原理 11

319911.4.1电源滤波电路 11

39661.4.2信号滤波电路 12

118301.5波导管防电磁干扰原理 12

1.1总体方案设计

图2-1所示为本研究课题中所设计的压力传感器总体设计方案。其中，A端压力和B端压力来自于伺服机构系统的两个不同的油压设备，分别表示两个油压设备的压力，A端压力敏感芯片和B端压力敏感芯片则为本课题研究工作中所研究设计的SOI单晶硅压阻压力敏感电路，该硅压阻压力敏感电路被封装成芯片形式。硅压阻压力敏感芯片输出形式为电压形式；A、B端的油压压力经过压阻压力敏感转化成电压形式后再传递给求差电路，计算A端和B端压力之差；经过求差电路后的压力差为电压形式，再被传递给输出滤波器，经过设定好的滤波器后能够使得压力差输出能更稳定一些，这也就是我们量化后的压力差值。本研究课