CN101859976A 一种微孔液体冷却不变形镜及其制作方法 （华中科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101859976A

(43)申请公布日2010.10.13

(21)申请号201010201350.6

(22)申请日2010.06.17

(71)申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人朱海红程祖海左都罗谢明杰何崇文胡攀攀

(74)专利代理机构华中科技大学专利中心

42201

代理人朱仁玲

(51)Int.CI.

HO1S3/08(2006.01)

GO2B5/08(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

一种微孔液体冷却不变形镜及其制作方法

(57)摘要

CN101859976A本发明公开了一种微孔液体冷却不变形镜及其制作方法，通过在镜面背部采用激光直接烧结金属基混合粉末，一体成型液体流动微孔层，使冷却液体能够在该液体流动微孔层的微孔中流动，从而实现对镜面的冷却，降低镜面温升和变形。本发明克服了微孔液体镜无法焊接成一体的困难，同时解决了目前各种液体冷却不变形镜换热效果不足的问题。本发明采用快速成型方法在镜面直

CN101859976A

CN101859976A权利要求书1/1页

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1.一种微孔液体冷却不变形镜的制作方法，通过在镜面(1)背面一体成型液体流动微孔层(3),使冷却液体能够在该液体流动微孔层(3)的微孔中流动，从而实现对镜面(1)的冷却，降低镜面(1)的温升和变形，具体包括如下步骤：

(一)以镜面(1)的背面作为基底，在该基底上预镀覆一层金属基粉末混合物作为过渡层(2);

(二)在上述过渡层(2)上预置一层所述金属基粉末混合物，采用激光对上述金属基粉末混合物进行扫描，使其中的低熔点粉末熔化粘结高熔点粉末，烧结成型一层微孔层；再在上述成型的微孔层上多次重复上述预置和扫描过程，从而在过渡层(2)上形成多层微孔层构成的液体流动微孔层(3);

(三)在上述液体流动微孔层(3)上安装镜架(4),即可形成所述的微孔液体冷却不变形镜。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，上述的步骤(二)金属基粉末混合物由至少两种熔点不同的粉末组成。

3.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于，上述步骤(一)中的镀覆方法可以是热喷度、电化学、磁控溅射或真空镀膜。

4.根据权利要求1-3之一所述的制作方法，其特征在于，所述液体流动微孔层(3)中的连通孔(5)的孔隙率、孔径和形状能够通过调节金属基粉末混合物的粉末形状、成分、粒度或配比来进行调节。

5.利用权利要求1-4之一所述的制作方法制作的微孔液体冷却不变形镜，用于激光光学谐振腔及光学链中，包括镜面(1)、过渡层(2)、液体流动微孔层(3)和镜架(4),其中镜面

(1)、过渡层(2)和液体流动微孔层(3)固接为一体，工作时，镜面(1)面向激光辐照区，吸收热量温度升高，冷却液体通过镜架(4)上的进水孔流入液体流动微孔层(3),通过换热，带走镜面(1)吸收的热量，从而降低镜面(1)温升，抑制变形。

CN101859976A说明书1/4页

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一种微孔液体冷却不变形镜及其制作方法

技术领域

[0001]本发明属于激光光学谐振腔领域，具体涉及一种液体冷却不变形镜及其制作方法，主要用于高功率密度和面型要求高的高能激光器光学谐振腔和光学链。

背景技术

[0002]激光光学谐振腔由于吸收激光能量不均匀，导致镜面温度不均匀(如图1所示),造成镜面面型变形，引起激光波阵面畸变，造成输出光束质量和稳定性下降。随着激光功率越来越高，这个问题越来越突出。因此，减少镜面的不均匀热变形是高功率激光技术中的关键技术。目前主要从三个方面来降低镜面的不均匀热畸变：选择合适的基底材料，使得镜面在吸收同样的能量下，热变形最小；镀制高反膜，降低镜面对激光的吸收；采用主动冷却技术，降低镜面的温升。镜体材料的选择受限于材料的物理性能、光学加工性能和机械性能，仅仅采用优化基体材料的单一方法已不能满足高能激光对高光束质量的特殊要求；提高镜面的反射率是非常有效的一种手段，目前反射率已经达到99.99%的工艺极限，但仍不能解决日益增长的高能激光器存在镜面畸变的难题