CN101804367A 新型微流控芯片的制作方法 （黄红霞）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN101804367A

(43)申请公布日2010.08.18

(21)申请号201010124276.2

(22)申请日2010.03.15

(71)申请人黄红霞

地址350002福建省福州市杨桥西路山头角

121号福建省中心检验所食品化学部申请人付凤富

王伟

郑小严

林松

(51)Int.CI.

BO1L3/00(2006.01)B01J19/00(2006.01)GO1N27/447(2006.01)

GO1N27/453(2006.01)

(72)发明人黄红霞林松

付凤富王伟郑小严

(74)专利代理机构福州元创专利商标代理有限

公司35100代理人蔡学俊

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

新型微流控芯片的制作方法

(57)摘要

CN101804367A本发明涉及微流控芯片技术领域，特别是一种带有薄膜式管路的新型微流控芯片的制作方法，包含如下步骤：制作一长方形玻璃；取一不干胶贴附在玻璃中心位置，并在玻璃该面上涂上光刻胶；把玻璃放入烘箱中固化光刻胶而后冷却；撕去不干胶后，将玻璃放入刻蚀液刻蚀，形成凹状槽后切成两段；将两段玻璃的凹状槽朝下，放在基板玻璃上；将两段玻璃两侧边用玻璃胶封好，形成中部具有一进样通道的薄膜状管路；玻璃胶固化后，分别在薄膜状管路左、右通道口和中部缝隙处分别做成围堰，形成缓冲液池、检测池和样品池。该方法不仅制作工艺简单，芯片制作方便、快

CN101804367A

□PaStin

A

tchingCuttn

tching

DE

D

Locating

Pxing

Reservoirforming

CN101804367A权利要求书1/1页

2

1.一种新型微流控芯片的制作方法，其特征在于：包含如下步骤：

(1)制作一长方形玻璃；

(2)取一宽度小于所述玻璃宽度、长度不小于所述玻璃长度的不干胶，将所述不干胶贴附在所述玻璃的中心位置；

(3)在所述玻璃贴附有不干胶的那一面上涂上光刻胶；

(4)把所述玻璃放入烘箱中，固化光刻胶，然后取出冷却至室温；

(5)从所述玻璃表面撕去不干胶，使所述玻璃被不干胶覆盖的部分暴露出来，用于刻蚀薄膜状管路；

(6)将所述玻璃放入刻蚀液刻蚀，以在玻璃表面形成凹状槽，刻蚀好后将所述玻璃取出并清洗；

(7)将清洗好的玻璃切成两段，并洗净、烘干；

(8)将两段玻璃的凹状槽朝下，放在另一片面积略大的基板玻璃上面；

(9)沿所述两段玻璃长度方向，将两段玻璃两侧边用玻璃胶封好，并在显微镜下调节两段玻璃之间缝隙的距离，以形成中部具有一缝隙的薄膜状管路，所述缝隙即为进样通道；

(10)玻璃胶固化后，分别在薄膜状管路左、右通道口和中部缝隙处分别做成围堰，以形成缓冲液池、检测池和样品池。

2.根据权利要求1所述的新型微流控芯片的制作方法，其特征在于：所述检测池中接有工作电极、参比电极和辅助电极。

3.根据权利要求1所述的新型微流控芯片的制作方法，其特征在于：在步骤(1)中，所述长方形玻璃宽度为3mm,厚度为1.3mm。

4.根据权利要求3所述的新型微流控芯片的制作方法，其特征在于：在步骤(2)中，所述不干胶的宽度范围为2~3mm,厚度为80μm。

5.根据权利要求4所述的新型微流控芯片的制作方法，其特征在于：在步骤(6)中，所述凹状槽的宽度范围为2~3mm,深度达10μm。

6.根据权利要求5所述的新型微流控芯片的制作方法，其特征在于：在步骤(9)中，在显微镜下调节两段玻璃之间缝隙的距离为20μm。

CN101804367A说明书1/3页

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新型微流控芯片的制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及微流控芯片技术领域，特别是一种带有薄膜式管路的新型微流控芯片的制作方法。

背景技术

[0002]近十几年来，微流控芯片技术有了飞速的发展，由于具有高集成度、快速分离、低样品消耗和小体积等特点，因此芯片技术得到了各国学者的重视。大部分微流控芯片都是由玻璃或高分子制作而成。和高分子芯片相比，玻璃芯片具有刚性的内表面，所以玻璃芯片更耐有机溶剂的腐蚀，更不易导致样品吸附并具有更好