CN103528735A 一种微型光纤法布里珀罗压力传感器及其制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN103528735A

(43)申请公布日2014.01.22

(21)申请号201310524956.7

(22)申请日2013.10.31

(71)申请人南京信息工程大学

地址210044江苏省南京市宁六路219号

(72)发明人葛益娴王婷婷张闯冒晓莉

(74)专利代理机构南京众联专利代理有限公司

32206

代理人顾进叶涓涓

(51)Int.CI.

GO1L1/24(2006.01)

GO1L11/02(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

(57)摘要

CN103528735A本发明公开了一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。该传感器能够有效避免传统光纤法布里-珀罗传感器的压力敏感膜受压后，产生非平面移动，造成较大光能损失的缺陷，能够得到更高的测量精度。本发明提供的微型光纤法布里-珀罗压力传感器，包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤，所述单晶硅膜具有凸台，所述硼硅酸盐光纤具有凹腔，单晶硅膜具有凸台的一面和硼