CN104412388B Hemt器件及其制作方法 （Hrl实验室有限责任公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

公

公

(45)授权

(10)授权公告号CN104412388B告日2020.03.06

(21)申请号201380025830.3

(22)申请日2013.05.09

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN104412388A

(43)申请公布日2015.03.11

(30)优先权数据

13/478,6092012.05.23US13/479,0182012.05.23US

13/478,4022012.05.23US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2014.11.17

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2013/0404312013.05.09(87)PCT国际申请的公布数据

WO2013/176904EN2013.11.28

(73)专利权人HRL实验室有限责任公司地址美国加利福尼亚州

(72)发明人萨梅·哈利勒

卡里姆·S·保特罗斯凯苏克·稀恩奥哈拉

(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112

代理人陈源崔利梅

(51)Int.CI.

HO1L29/778(2006.01)

HO1L21/