CN104190482B 以感光干膜为抗腐蚀掩膜制作玻璃微流体装置的方法 （四川大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN104190482B公告日2015.10.07

(21)申请号201410416124.8

(22)申请日2014.08.21

(73)专利权人四川大学

地址610065四川省成都市武侯区一环路南

一段24号

(72)发明人张磊褚良银汪伟谢锐巨晓洁刘壮

(74)专利代理机构成都科海专利事务有限责任公司51202

代理人黄幼陵郭萍

(51)Int.CI.

B01LGO3FCO3CC03C

3/00(2006.01)7/00(2006.01)15/00(2006.01)27/06(2006.01)

CN1648663A,2005.08.03,全文.

NL1021264C2,2004.02.17,全文.

WO2005001573A2,2005.01.06,全文.

韩建华等.微流控芯片的键合技术.《半导体技术》.2014,第39卷(第7期),全文.

谢海波，傅新等.基于玻璃湿法刻蚀的微流控器件加工工艺研究.《机械工程学报》.2003,第39卷(第11期),全文.

审查员唐湘

(56)对比文件

CN

1015855