半导体厂务项目工程管理课件:化学品设备操作及故障排查.pptx

半导体厂务项目工程管理课件:化学品设备操作及故障排查.pptx

半导体厂务项目工程管理

化学品设备操作及故障排查

【任务背景】CCSS常用设备

根据CCSS系统的使用功能,CCSS系统可以分为电器系统控制单元、CCB系统控制单元和Drum桶单元系统控制单元。电器系统控制单元通常由以下几个关键部分组成:气源区、报警塔灯、负压表、控制电源、PLC、继电器、380V断路器、380B变频器等

【任务背景】CCSS常用设备

CCB系统控制单元通常由以下几个关键部分组成:急停开关、负压表、CCB、水枪、气枪等。

【任务背景】CCSS常用设备

Drum桶单元系统控制单元通常由以下几个关键部分组成:气动阀、气管、流量感应计、液管、水枪、条码枪等。

【任务背景】CCSS

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