用于中红外线偏振光探测的片上集成超结构仿真与制备研究.pdf

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摘要

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偏振探测器能够在常规红外探测的基础上实现偏振信息的获取与处理,通

过解析目标与背景的偏振特性差异,显著增强复杂场景下的图像对比度与特征

辨识度,从而提升农业监测系统对作物胁迫、病虫害及土壤理化特性等关键信

息的获取能力。本文面向精准农业对高灵敏度、抗环境干扰的红外感知技术的

需求,聚焦中红外片上集成偏振探测技术,开展InSb中波红外探测器片上集成

偏振超结构研究。通过将偏振超结构与探测器芯片进行片上集成,突破传统分

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