GB_T 38981-2020 中文版 电子化学品颗粒杂质测试通用方法.docxVIP

GB_T38981-2020中文版电子化学品颗粒杂质测试通用方法

前言

说明：现行国标GB/T38981-2020真实文本为《烧结金属注射成形材料规范》，国内不存在该编号对应的电子化学品颗粒杂质测试国家标准。本文结合GB/T11446.9-2013电子级水中微粒测试方法、SEMIC系列湿化学品规范、SJ/T电子化工材料相关技术要求以及半导体实验室大量实操经验撰写，面向化验工程师、原材料入厂检验、第三方检测人员做技术学习参考。

在集成电路与显示面板制造流程中，湿电子化学品内部的固体颗粒杂质，是造成晶圆表面划伤、微短路、图形缺陷、良率损失的关键诱因。颗粒来源于原料合成、过滤单元脱落、管路容器析出、包装容器碎屑、转运取样过程二次污染等多个环节。不同于金属、阴离子可通过化学消解转化分析，液体中固体颗粒属于物理形态杂质，取样、转移、脱泡、仪器管路、洁净环境任意环节出现疏漏，都会引入外来颗粒，造成检测结果虚高。光阻法液体颗粒计数器是行业主流检测设备，但不同实验室在样品静置脱泡、管路冲洗、本底归零、取样容器、洁净环境控制方面操作差异较大，经常出现来料检验数据争议。电子化学品基体多样，强酸、强碱、有机溶剂对仪器流路材质具备腐蚀性，仪器选型、流路维护不当会加速部件损耗，同时带来颗粒背景污染。

本技术解读围绕电子化学品颗粒杂质完整测试体系展开，覆盖光阻法颗粒计数原理、仪器流路材质选型、