电讯系统中硅微机械谐振器滤波器通带灵敏度分析.pdf

第17卷第3期 振 动 工 程 学 报 V。1．17No．3 JournalofVibration Sep．2004 11111 Engineering 1星一 ==============================================：一：= 电讯系统中硅微机械谐振器／滤波器通带灵敏度分析’ 李 普1 方玉明z矗 (1东南大学机械工程系南京，210096)(2东南大学电子工程系教育部MEMS重点实验室南京，210096) (3南京邮电学院信息工程系南京，210003) 摘 要 以静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器为研究对象，在建立硅微机械谐振器振动方程的基础上。导出了幅 频函数、相频函数对固有频率相对误差、品质因数相对误差的灵敏度表达式，重点分析了固有频率相对误差、品质 因数相对误差在中心频率处、3dB截止频率处对幅频特性、相频特性的影响，以及对常用的3dB通带带宽的影响，得 出了一些重要的结论。 关键词：MEMS；谐振器，滤波器；灵敏度 中图分类粤：0357#TN713 通讯技术的进步，无线电用户日益增多。然而频 到。而在经典的滤波技术中【6~8]，对于极高品质因数 率资源是有限的，这使得越来越多的用户挤在很窄 滤波器通带灵敏度的论述很少，而且偏重幅频特性。 的频段内。窄化信道是必然的选择之一，即信号接受 本文以被公认为综合性能最佳的静电梳驱动折叠梁 机的滤波器必须完成窄带滤波。目前电讯系统在这 硅微机械谐振器为研究对象n]，在建立硅微机械谐 一部分采用的是技术成熟的机械式谐振器／滤波器。 振器振动方程的基础上，导出了幅频函数、相频函数 这是因为机械谐振器／滤波器在诸多方面具有非常 对固有频率误差、品质因数误差的灵敏度表达式，重 优异的性能[1~3]，远优于LCR谐振电路，所以早在 点分析了固有频率误差、品质因数误差在中心频率 1940年就得到了科学家和工程师的青睐[1]。随着技 处、3dB截止频率处对幅频特性、相频特性的影响， 术的发展，电讯系统的微小型化成了必然趋势。机械 以及对常用的3dB通带带宽的影响，得出了一些对 式谐振器／滤波器不仅体积相对大，而且采用的是独 于微机械谐振器／滤波器设计制造有指导意义的重 立于芯片的制作技术，只能实现电路板级的连接，成 要结论，实例分析也验证了上述结论。 为系统微小型化的瓶颈。微加工技术的出现为解决 这个问题提供了良好的契机。利用标准集成电路工 1 硅微机械谐振器／滤波器振动模型 艺，直接将机械谐振器／滤波器制作在硅芯片上，实 现与电路在一块硅芯片上集成[1~3]，组成单片系统， 图1是静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器结构 可以大大缩小整个系统的体积。由于微机械谐振器 ／滤波器的前景十分诱人，各国学者纷纷开展研究， 提出了许多种结构形式的微机械谐振器／滤波 器‘3～副。 由于频率选择的需要，微机械谐振器／滤波器带 宽必须非常精确，即极点和品质因数必须十分精确。 但由于计算模型无法做到绝对精确，微加工误差不 可避免，以及环境变化等因素的影响，极点和品质因 数不可能是理想值。因此研究微机械谐振器／滤波器 对极点误差和品质因数误差的灵敏度具有重要的意 图1 静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器结构示意图 义。文献检索表明，关于微机械谐振器／滤波器对极 点误差和品质因数误差的灵敏度研究的文献尚未见 示意图Ⅲ。图中左端是梳状静电驱动端，待处理的信 ·国家自然科学基金资助项目(编号，江苏省高校自然科学研究计划资助项目(编号：03KJB510089) 收稿日期：2003—09—15l修改稿收到日期；2003—1