扭转微镜的动力学模型及其动态特性分析.pdf

第17卷第4期 振 动 工 程 学 报 V01．17No．4 2004年12月 ofVibration Dec．2004 Journal Engineering 扭转微镜的动力学模型及其动态特性分析 赵建平 陈花玲 陈天宁 (西安交通大学振动与噪声控制工程研究所西安，710049) 摘要扭转微镜中的静电和机械两个物理场是非线性耦合的，因此系统的数学模型及动态特性分析就变得很复 杂。首先建立了扭转微镜的非线性动力学模型，然后采用直接积分法求解了系统的阶跃响应，通过数值模拟发现系 统的固有频率随施加电压增大而减小、振动平衡位置随电压增大发生偏移等现象。对这些非线性现象进行了分析， 有助于微镜系统设计和扩展微镜系统的应用范围。 关键词：非线性振动；光调制器；微机电系统；动态响应 中图分类号：0322；TP211 扭转微镜是一种空间光调制器，它通过控制信 号调整入射光线空间分布，在光学通讯、光计算、投 影显示、高清晰度电视等方面有着十分广泛的应用。 目前，对静电驱动扭转微镜的研究大都集中在 静态特性的研究上，其主要研究内容是微镜静电驱 动时的吸合特性及其相关的内容[1~3]，对扭转微镜 C 动态特性的研究文献就很少，GroverWestel等曾 (a)三维示意图 研究了静电驱动扭转微镜的单自．由度动态模 型[4~5]，对简化后模型的静态、瞬态(阶跃和脉冲响 应)以及简谐激励响应特性做了分析。但是由于 GroverCWestel等的计算模型过于简化，在分析中 没有考虑因静电力而引起的非线性现象，因而分析 很不充分，不能据此进行微镜系统的精确设计和优 化工作。 本文通过详细分析扭转微镜结构，建立了扭转 (b)横截面图 微镜的非线性动力学模型，并利用数值模拟详细分 图1扭转微镜示意图 析了其阶跃响应中的非线性现象以及动态特性和静 态特性的不同，这些结果有助于扭转微镜的设计和 系统的转动惯量 优化。 1 (2) 1扭转微镜动力学模型 式中P。，P剐分别为多晶硅和薄膜铝密度；口，L分别 图1是扭转微镜示意图，为了建立其动力学方 为镜面的宽度和长度；t，，tat分别为多晶硅和铝层的 程，以角位移口作为独立坐标，角振动系统的动力学 厚度。W。，t。，z分别为扭转梁的宽度，厚度和长度。 方程可表示为 对于矩形截面的扭转微梁的扭转刚度可表示为 Kd一2GI。／t (3) 朋+C口口+K口口一T(￡) (1) 式中G为多晶硅的剪切模量(G一66MPa)；I，为 式中 ，为转动惯量，C一为阻尼，K一为扭转刚度，口 扭转梁的截面极惯性矩。 为微镜转角，丁(￡)为系统外加驱动力矩。 收稿日期：2003—03—24；修改稿收到日期：2004—02—16 万方数据 450 振 动 工 程 学 报 第17卷