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第 卷 第 期 固体电子学研究与进展
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年 月
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短周期 超晶格的
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生长及 射线衍射研究
,
王向武 程祺祥
南京电子器件研究所
- ./011023
收稿 收改稿
摘要 生长了短周期 超晶格 并通过双晶 射线衍射谱 对 超薄层
8 . .
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的生长进行了研究 从衍射谱卫星峰的级数及 K 干涉条纹的出现 定性
D E .
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地对晶格结构及界面作出评价E 光衍射测量结果与MN?O 结构电学性能测试结果有较好的对
应关系E
关键词 金属有机物化学汽相淀积 超晶格 射线衍射
8 P P
,
中图分类号8 R16S1T6 文献标识码8 文章编号80111UR504-/11131/U1/0/U16
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