薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究.pdfVIP

第 34卷第 5期 光 　子 　学 　报 Vol. 34 No. 5 2005年 5月 　　　　　　　　　　　　ACTA PHO TON ICA SIN ICA M ay 2005 薄膜微区域变形的微标记阵列检测方法研究 1 1 1 1 2 魏 　成 　李喜德 　黄静波 　施惠基 　张泰华 ( 1清华大学工程力学系 ,北京 100084) (2 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 , 北京 100080) 摘 　要 　本文应用阵列微压痕标记技术完成了薄膜表面微孔洞缺陷邻域变形检测 检测中通过应 用纳米压痕和微区域放电技术 ,制作微标记阵列和微孔洞缺陷 ,并在数字化显微系统下完成微区域 点阵变形检测 ,进而实现微区域小变形测量 研究了微标记点的信息提取与表征方法 ,讨论了微标 记法在薄膜材料性能检测中的可行性及其检测性能 关键词 　薄膜 ;微区域变形 ;微压痕 ;标记法 ;微缺陷 中图分类号 　　O484. 5　　　　文献标识码 　　A 微标记阵列法测量的关键是要在微区域内能方 0　引言 便容易地形成需要的微标记阵列 ,而微标记本身又 由于微区域在尺度方面的限制 ,其变形检测一 不能对被测试材料的结构和性能造成明显的影响 直是人们致力解决的问题 这一方面是由于其中的 本文采用纳米压痕技术在薄膜表面制作微压痕作为 μ μ 变形和位移幅值非常小 ,常规的检测方法无法在测 微标记阵列 ,并在 10 m 到 50 m 不同厚度镍膜表 量精度方面满足要求 ;另一方面 , 由于被测对象在外 面制作了微压痕阵列 ,研究了不同压痕深度时微压 载作用下会产生整体位移或变形 ,而这一变形往往 痕阵列标记法的检测性能 , 同时 ,通过应用微细电火 μ 远大于微区域 自身的变形 , 因而使得微区域位移 花工艺在 20 m 厚镍膜上预制了微孔洞初始缺陷 , “淹没 ”其中而无法分辨 目前微区域变形检测的 然后再应用阵列微压痕标记方法 ,获得了微孔洞缺 方法主要有显微散斑方法 、微纳米云纹法及显微标 陷邻域的变形分布 记法等 [ 1～7 ] 显微散斑方法通过微散斑图像干涉或 1　薄膜微区域变形场的微标记阵列检 数字相关计算获得微区域位移或变形 ,但是通常由 于被测物体整体位移或变形的影响很难准确地得到 测 局部微变形场 微纳米云纹技术应用光学 、电子束 、 　　如前所述 ,在对微尺度物体或微区域检测时 ,总 扫描 显 微 等 技 术 获 得 高 密 度 格 栅 , 然 后 通 过 是会遇到两个基本的问题 , 即对微区域来说由于物 图像放大技术或数字图像处理技术测量微区域变形 体整体运动产生的所谓 “刚体 ”位移和微区域中非 但由于制栅过程相当复杂和需要适当的设备与制栅 常微小的位移幅值 因此需要研究和开发新的方法 材料 ,使得微纳米云纹的应用受到限制 标记法是 以适应这一特殊的检测需求 微 /纳米压痕技术是 测量大变形和微区域变形的有效方法 它是通过在 目前微尺度检测领域中广泛应用的测