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第2 8 卷第4 期 东 北 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) Vol 28 ,No . 4
2 0 0 7 年 4 月 Journal of Nort heastern U niver sity (N at ural Science) Ap r . 2 0 0 7
含氢类金刚石碳膜的拉曼光谱洛伦兹分解
蔺 增 , 巴德纯 , 王 凤
( 东北大学 机械工程与自动化学院 , 辽宁 沈阳 110004)
( )
摘 要 : 利用射频等离子体增强化学气相沉积 rf PECVD 工艺在不锈钢基底上制备 aC : H 膜 ,利用激
光 Raman 光谱表征所沉积碳膜的微观结构 ,特别是通过对拉曼谱图进行洛伦兹分解来评价所沉积碳膜的 sp3
含量 ,分析了沉积电压和过渡层对 aC :H 膜生长过程及膜中 sp3 含量的影响 结果表明 ,利用拉曼光谱的洛伦
·
兹分解能够有效分析 aC :H 的结构特性 ,碳膜沉积过程中沉积电压和过渡层对 aC : H 膜的生长均具有重要
影响 在本实验条件下 , 以 Ti/ TiN/ TiC 为过渡层沉积电压为 2 500 V 时所制备的aC :H 膜中的 sp3 含量最高
· ·
关 键 词 : 氢化类金刚石碳膜 ;等离子体增强化学气相沉积 ;拉曼光谱 ;洛伦兹分解
中图分类号 : TB 79 文献标识码 : A 文章编号 : (2007)
Lorentzian Decomposition f or Raman Spectrum of
Hydrogenated DLC Thin Fil ms
L I N Zeng , B A Dech u n , WA N G Feng
( School of Mechanical Engineering Automation , Nort heastern University , Shenyang 110004 , China .
Correspondent : L IN Zeng , Email : linzengsy @ 163 . com)
Abstract : The aC :H (hydrogenated diamondlike carbon) t hin films were depo sited on st ainless
steel subst rates by means of rf P ECVD ( radio frequency plasma enhanced chemical vapor
depo sition) p rocess and t he Raman spect rum was applied to t he characterization of t he
micro st ruct ure of t ho se t hin films. Especially , t he Lorentzian decompo sition was carried out for
t he Raman spect ra to estimate t he sp 3 content in t he
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