CeO2@SiO2纳米复合磨料的制备及其对光学石英玻璃的抛光性能.pdfVIP

CeO。@SiO2纳米复合磨料的制备及其对光学石英玻璃的抛光性能／陈 杨等 ·35 · CeO2@SiO2纳米复合磨料的制备及其对光学石英玻璃的抛光性能 陈 杨 ，隆仁伟 ，陈志刚 (1 江苏大学材料科学与工程学院，镇江 212013；2 常州大学材料科学与工程学院，常州 213164) 摘要 以无水乙醇为溶剂、氨水为催化剂，利用正硅酸乙酯水解所得的Si()2微球为内核，以硝酸亚铈为铈源、 六亚甲基四胺为沉淀剂，采用化学沉淀法制备了具有草莓状包覆结构的CeO2@SiOz复合颗粒。利用 X射线衍射 仪、透射电子显微镜、场发射扫描电镜、能谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米激光粒度分布仪等对所制备样品的结构进 行了袁征。将所制备的包覆结构Ce02@Si()2复合磨料用于光学石英玻璃的化学机械抛光，采用原子力显微镜观察 了抛光表面的微观形貌，并测量了表面粗糙度。结果表明，所制备的Ce02@si02复合颗粒呈规则球形，粒度分布均 匀，粒径为 150~200nm，且具有明显的草莓状包覆结构，大量纳米ce02颗粒紧密包覆在si02表面。AFM测量结果 表明，抛光后玻璃表面划痕得到明显改善，在 10~／mX1Om范围内表面粗糙度RMS值由1．65nm降至0．484nm。 关键词 CeO2@si02复合磨料 包覆 石英玻璃 抛光 中图分类号：TB383 文献标识码：A PreparationandPolishingPerformanceofCeO2@Si02CompositeAbrasives CHEN Yang ，LONG Renwei，CHEN Zhigang (1 SchoolofMaterialsScienceandEngineering，JiangsuUniversity，Zhe~iang212013； 2 DepartmentofMa terialsScienceandEngineering，ChangzhouUniversity，Changzhou213164) Abstract Inabsoluteethanolsolvent，withammoniaascatalyst，Si02uhrafineparticlesarepreparedbyhy— drolyzingtetraethyl0rthosilicate．Ce02@Si02core-shellcompositeparticlesaresynthesizedbychemicalprecipitation techniquewithcerium nitrateascerium resource，hexamethylenetetramineasprecipitatingagent．As—preparedsamples areanalyzedusingX-raydiffraction，transmissionelectronmicroscope，fieldemissionscanningelectronmicroscope， energydispersiveanalysisofX-rays，X-rayphotoelectronspectrometer，dny amiclightscatteringanalyzer．Silicaglass ispolishedbyCeCh@Si02compositeabrasives，andthepolishingperformanceofnovelcompositeabrasivesischarac— terizedusingatomicforcemicroscope．TheresultsindicatethattheCe02@SiOzcompositeparticles(150～200nm in diameter)haveanexcellentsphericalmorphologyanduniform particlesize．Ce0 nanoparticlescanbeuniformlycoa— tedonthesurfaceofSi02