PMLSM直接驱动工作台的机电耦合有限元建模.pdfVIP

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第33卷 第6期 沈 阳 工 业 大 学 学 报 VO1.33 No.6 2011年 12月 JournalofShenyangUniversityofTechnology Dec.2 0 1 1 文章编号 :1000—1646(2011)06—0618—05 PMLSM直接驱动工作台的机 电耦合有限元建模 宁建荣 ,夏加宽 ,沈 丽 ,王成元。 (1.沈阳工业大学 电气工程学院,沈阳 110870;2.沈阳化工大学 机械工程学院,沈阳 110142) 摘 要:由于使用永磁直线同步电动机直接驱动,直线滚动导轨支承的进给工作台的动力学特性 对超精密数控机床的加工精度会产生直接影响.以工作台和电动机动子作为研究对象,利用拉格 朗日一麦克斯韦方程建立工作台系统的机电耦合动力学模型.采用有限元方法计算出永磁直线同步 电动机的推力和法向力 ,对工作台模型进行模态分析与电磁力作用下的谐响应分析 ,得到工作台 系统的模态参数和水平 、垂直两个方向的频响曲线.通过分析频响曲线可对工作台的振动进行预 测,为工作台系统优化设计和优化控制提供了依据. 关 键 词:永磁直线同步电动机;直接驱动;动力学分析;机电耦合;有限元 ;推力;法向力; 超精密机床 中图分类号:TM351 文献标志码:A Electromechanicalcouplingfiniteelementmodelingof PM LSM directdriveworktable NING Jian.rong一 ,XIA Jia.kuan ,SHEN Li‘W ANG Cheng.yuan , (1.SchoolofElectricalEngineering,ShenyangUniversityofTechnology,Shenyang110870,China;2.SchoolofMechanical Engineering,ShenyangUniversityofChemicalTechnology,Shenyang110142,China) Abstract:The dynamic characteristics offeed worktable directly driven by permanentmagnetlinera synchronousmotor(PMLSM)andsupportedbylinera rollingguidewilldirectlyaffectthemachining accuracyofsuper—precisionnumericalcontrolmachinetoo1.W ithtakingbothworktableandPMLSM mover ashtereserachobject,hteelecrtomechanicalcouplingdynamicsmodeloftheworktablesystem was establishedby adopting theLagrange—Maxwellequation.The thrustand nomr alforcesofPMLSM were calculatedwihtfiniteelementmehtod(FEM).Themodalanalysisandharmonicresponseanalysisunderthe effectofelectromagneticforcewereperfomr edfortheworktablemodel,andhtemodalpraametersandthe frequencyresponsecurvesinbothhorizontalandnomr aldirectionsofworktablesystem wereobtained.The vibrationofworktable

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