基于CVD技术的异步多通路电针灸针的研究.pdfVIP

第 33卷 第 5期 压 电 与 声 光 Vo1．33NO．5 2011年 10月 PIEZOEIECI、RICS AC()UST00PTICS Oct．2011 文章编号 ：1004—2474(2011)050788—03 基于 CVD技术 的异步多通路 电针灸针的研究 邱可可 ，刘景全 ，芮岳峰 ，杨春生 ，王宇娟 ，李克勇 (1一 f海 交通 大学 微纳科学技术研究 院，微米 ／纳米加工技术 国家级 熏点实验室，薄膜 与微细技 术教 育部重点实验室 ，上海 200240 2．上海交通大学 附属第一人 民医院，上海 200080) 摘 要 ：针灸治疗是 中医治疗疾病 的一种有效方法 ，随着现代针灸 的新科技与经络穴位的结合 ，传统的毫针逐 渐发展到了脉冲电针、电热针等 。该文提出一种异步多通路刺激 的电针灸针 。基于传统的毫针 ，通过微加工工艺 在一根毫针针体上加工 出若干个刺激 电极 ，微加工工艺包括溅射金属层及化学气相沉积(CVD)绝缘层聚对二 甲 苯。聚对二 甲苯作为 电极 问的绝缘材料 ，具有无针孔涂覆 、更低 的液气渗透率 、良好 的生物相容性 、透 明性和柔韧 性 、以及较好 的机械强度 。通过连接 电针灸仪 ，在一一根针上即可实现异步 多条 电流通路 的刺激 。 关键词 ：电针灸 ；异步 ；多通路 ；电针 ；化学气相沉积 (CVD)；聚对二 甲苯 中图分类号 ：TP332．3 文献标识码 ：A Research onAsynchronousM ulti’channelElectro。acupunctureNeedles BasedonCVD Technology QIUKeke，LIUJingquan ，RU1Yuefeng。，YANGChunsheng，wANGYujuan ，LIKeyong (1．NationalKeyLab．ofNano／MicroFabrication Fechnology，KeyIab．forThinFilm andMicrofabricationofMinstryofEducation InstituteofMicoandNanoScienceand Fechnology，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China； 2．ShanghaiJiaotongUniversityAffiliatedFirstPeople’SHospital，Shanghai200080，China) Abstract!ThetraditionalChineseacupunctureisaneffectivemethodforthetreatmentofdiseases．W iththe combinationofnew technologyofthemodernacupunctureand themainandcollateralchannels，theacupoint，the originaltraditionalneedlehasbeendevelopedtOtheelectricneedle．Thispaperpresentsanasynchronousmulti—chan— Belelectricalacupunctureneedle．Basedonthetraditionalneedle，wecanusethemicro—processingtechnologytO lab— ricateseveralstimulatingelectrodesononesingleneedle．Themicro—processingtechnologyincludesthesputtering metallayerandthechemicalvapordepositionofinsulation layerparylene，andSOon．Theparyleneasaninsula