零差激光干涉仪正交相位误差的分析.pdfVIP

第39卷第 12期 光电工程 Vb1．39．No．12 2012年 12月 Opto—ElectronicEngineering Dec．2012 文章编号：1003—501X(2012)12—0055—08 零差激光干涉仪正交相位误差的分析 胡红波，于 梅 (中国计量科学研究院，北京 100013) 摘要：针对零差正交激光干涉仪在直线运动测量中的误差来源及其影响，说明了零差激光干涉仪两路正交干涉信 号中零漂、幅度误差以及相位误差等典型的非线性因素对位移测量的影响 本文采用一种简单的方法首先去除了 干涉信号中的零漂与幅度误差，详细论述了正交相位误差对振动与冲击位移测量的影响，通过试验与理论分析的 方式确定了相位误蒹引起位移测量误差的大小及误差性质。提出了对相位误差进行修正的办法，并通过装置试验 验证了该方法的有效性，为整个标准装置的不确定度评估以及干涉仪的调试提供了参考。 关键词：零差激光干涉仪；正交信号；相位修正；直线运动；误差分析 中图分类号；TH741；TH744 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003．501X．2012．12．010 AnalysisofQuadraturePhase-shiftErrorf0r HomodyneInterferometer HUHong-bO，YUMei (NationalInstituteofMetrology，Bejiing100013，China) Abstract：Theinfluenceandoriginofquadraturephaseshiftonthemeasuredrectilineardisplacementmeasurementerror wasinvestigatedusingahomodynelaserinterferometerwithaquardatureoutput．Commonnonlinearities，including zero—shift，differentamplifiergainsandphaseshift arethreetypicalerrorsfordisplacementmeasurements．A simple methodwasusedtodetermineandcorrectthezeroshiftandunequalgains，andtheinfluenceofthephase-shiftwas describedindetailedexperimentally，includinghteeffectivewaytocorrectphaseerror．Theeffectivenessofthemehtod wasvalidatedbycomparingthedisplacementerrorbeforeandafterphaseshifterror-corrected．Moreover,themehtodCna beappliedtoassessstandardmachineandadjustniterferometer． Keywords：homodyneinterferometer；quardaturesignal；phasecorrect；rectilineardisplacement；errornaalysis 0 引 言 科学研究与工业生产对测量系统的要求越来越高，这对测量系统的量值溯源提出了更高的要求。在振 动与冲击等直线运动计量领域，各个国家计量院按照相关ISOLJ标准的要求建立的标准装置，通过高精度 的机械激励系统与激光干涉技术的应用，使得加速度物理量的复现具有很高的准确度，同时也为加速度量 的国际比对提供了可靠的手段。 基于正交相位输出的激光干涉仪具有纳米级的分辨率，并且在很宽的位移动态范围内具有