RB-SiC反射镜的材料制备、表面改性及非球面加工.pdfVIP

第 19卷 第 8期 光学 精密工程 Vo1．19 No．8 2011年 8月 OpticsandPrecisionEngineering Aug．2011 文章编号 1004—924X(2011)08—1750—07 RB-SiC反射镜的材料制备、表面改性及非球面加工 闫 勇 ，金 光 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033) 摘要 ：针对 RB-SiC反射镜工程实践中暴露的一些 问题 ，对 RB-SiC反射镜 的材料制备、表面改性及非球面加工等技术进 行了研究。首先，依据其改性特殊性，选取 了与 RB-SiC反射镜材料热胀系数匹配 的新型支撑材料进行热匹配设计 。接 着 ，依据实际工程情况对非球面加工工艺及流程进行技术改进 ，以提高加工的可靠性 。最后 ，采用试验 的方法对 RB-SiC 反射镜的相关加工方法进行 了试验验证 。试验结果表 明，改性后 RB-SiC反射镜完好 ，改性前后镜面面形精度 RMS值变 化量仅为 0．017X(X一623．8nm)，变化率为 13 ，非球面加工周期缩短了1～2月。该技术确保 了RBSiC反射镜 10 m 的改性膜层在后续加工 中的加工余量 ，使其不易被磨漏 ，提高了加工的安全性 ，缩短 了非球面加工周期，该技术亦适用于 其它 SiC反射镜 的制备及非球面加工 。 关 键 词 ：RH-SiC反射镜 ；表面改性；非球面加工；加工周期 中图分类号 ：V475．3；TQ171．68 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE1750 M aterialpreparation，surfacemodification and asphericprocessingofRB—SiC mirrors YAN Yong ，JIN Guang (ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) *C0rrgs0咒 gauthor，E-mail：cclyy911@163．com Abstract：TosolvetheproblemsofRB SiC mirrorsinengineeringapplications，thematerialprepara— tion，surfacemodificationandasphericprocessingofRB—SiCmirrorswereanalyzed．Firstly，according to thespecialmodificationcharacteristicsoftheRB—SiC mirrors，anew materialwhosethermalexpan— sioncoefficientwasmatchedwellwiththatoftheRB——SiCwaschosentobeanew supportforthether—’ maldesign．Then。themodification and fabrication technologiesofRB—SiC mirrorswere improved basedon theactualsituation oftheasphericprocessing forbetterprocessing reliability and shorter processingcycle．Finally，theimprovementwereverifiedby experiments．Theexperimentalresults indicatethatthemodifiedRB—SiC mirroriSinagoodcondition．TheRMSsofthemirrorsurfacesbe— foreandaftermodificationshavechangedonly0．017k(X=