机电集成静电谐波传动原理.pdfVIP

维普资讯 第23卷第 1期 机械设计与研究 Vo1．23No．1 2007年2月 MachineDesignandResearch Feb．．2007 文章编号：1006-2343(2007)0l-058-03 机 电集成静 电谐波传动原理 秦 磊 。 许立忠 (燕山大学 机械工程学院，秦皇岛 066004，E-mail：xlz@ysu．edu．cn) 摘 要 ：提出了一种基于静电驱动的新型机电集成传动系统，分析 了该传动系统的基本工作原理，计算了 传动关键零件柔轮的径向变形，给出了电场力的计算公式，得 出了工作电压的解析式和输出力矩计算公式，讨 论了输出力矩随主要系统参数的变化规律。研究结果为该种新型传动的进一步研究和应用奠定了理论基础。 关键词：机电集成；径向变形；静电场力；工作电压；输出扭矩 中图分类号：TH132 文献标识码：A ThePrincipleofElectromechanicalIntegratedElectrostaticHarmonicDrive QINLei， XULi—zhong (CollegeofMechanicalEngineering，YanshanUniversity，Qinhuangdno 066004，China) Abstract：A novelelectromechanical integrateddrivesystem drivenbyelectrostaticforceispresented，whosebas- icoperatingprincipleisalsoanalyzed．Theradialdeformationofthekeypart-flexsplineofthedrivesystem iscalculat- ed．Thefomr ulationoftheelectrostaticforceisgiven．Th eanalyticfomr ulasofbothoperatingvoltageandoutputtorque raeobtained，Th echangesofoutputtorquealongwiththemainsystem praameterarediscussed．Th eresultssupplied thebasictheoryofrthefurtherresearchandapplicationofthedrivesystem， Key words： electromechanical integrated； radial defomr ation； electrostatic ofrce； operating voltage； OUn)uttorque 微机电系统 (MEMS)是指那些以0．5—500I~m为特征尺 图。传动的转子 1是半径为r、厚度为d的薄壁铝制圆柱壳， 寸的可动部件组成 的机械系统。它们在电子组装、医疗器 转子外面是厚度为t的薄层空气。定子是空气层之外的6块 械、航空和军工等领域 中具有很广阔的应用前景 ，其特点是 用来在不同时刻施加电压的互相绝缘的金属导体2，它们的 高度集成了机械，电子与控制技术于一体。随着尺寸的减 内壁需经过阳极氧化处理 ，以获得一层很薄的电介质层。在 小，静电力表现出比机械力和电磁力更明显的优势 。文 定子2上施加电压后，会在转子 1的表面产生一定的感应电 献[7]介绍了一种静电驱动电机的结构组成和扭矩计算，然 荷，于是内外金属体之间形成静电场。在静电场力的作用 而具有输出轴摆动等缺点。下面拟基于谐波传动