十二工位超洁净全自动超声波清洗机设计、研制与应用.pdfVIP

新渡 新 清洗世界 第27卷第8期 CleaningW orld 2011年8月 文章编号：1671—8909(2011)08—0022—07 十二工位超洁净全 自动超声波 清洗机设计 研制与应用 李智峰，施 旗，汪 兴，周 程，敬 亚 (长沙矿冶研究院湖南金能自动化设备有限公司，湖南长沙410012) 摘 要：论述了一种新型全 自动超声波清洗机的的工作原理及实际应用。该清洗机综合运用了 当今国际最前沿最先进的清洗理念及技术，清洗后产品的洁净度可达0．25ixm。本设备是铬版 制作中掩膜抛光后的高洁净度的清洗设备。该产品可以应用于同行业不同的工序或其他行业 要求高精度清洗工序中。 关键词：超洁净；超声波；全 自动；慢提拉干燥；全 自动化生产 中图分类号~TB559 文献标识码：B Design，researchandapplication oftwelveworkstation ultracleanautomaticultrasoniccleaningmachine LIZh ng，SHIQi，WANGXing，ZHOUCheng，JINGY (ChangshaMiningandMetallurgyInstitute，HunanKenonAutomation EquipmentCo．，Ltd．，Changsha，Hunan410012China) Abstract：Thispaperdiscussesanew automaticultrasoniccleaningmachineoftheworkingprinciple andpractical印plieation．Thiswashercomprehensiveuseofthecurrentinternationalforefrontmostad- vancedcleanideaandtechnica1．Thisequipmentisappliedtomaskblankinmakingmaskafterpolis— hingpreciselycleaning，aftercleaningproductcleanlinesscan reach0．25 m．Thisproductcan be usedinthesameprofessiondifferentprocessesorotherindustrieshigh—precisioncleaningprocess． Keywords：ultraclean；ultrasonic；fullautomatic；slow tirasdry；fullautomaticproduction 集成电路 (简称 Ic)制造业和平板显示制造业 术水平相比还较落后。一直以来，高档次的高洁净 在我国的发展很快。高洁净度清洗机作为微 电子行 度清洗机一直被国外少数几家企业所垄断，他们通 业和平板显示行业的关键的设备之一，其技术水平 过高洁净度清洗机牢牢控制着 Ic制造业和平板显 和清洗精度直接影响我国电子信息技术的发展。近 示器的上游尖端行业。研发高洁净度清洗机不仅可 年来，清洗技术在我国进步很快，但与微 电子行业和 为集成电路产品和新型显示器件提供可靠配套服 平板显示行业的要求相差甚远，与国际先进清洗技 务，同时也将带动相关技术研究和产品开发的进步， 收稿 日期：201l一06—13 作者简介：李智峰(1973一)，男，湖南长沙人，高级机械工程师，从事清洗机、自动化设备等的设计研究。 第27卷 李智峰等 ．十二工位超洁净全自动超声波清洗机设计、研制与应用 ·23· 有利于提高我国在全球信息化建设中的国际竞争