基于单块WO3纳米孔柱阵列的微型湿度感应器.pdfVIP

易前宁 等 ：基于单块 WO。纳米孑L柱阵列的微型湿度感应器 基于单块 WO3纳米孔柱阵列的微型湿度感应器 易前宁，胡陈果 (重庆大学 物理学院，重庆 400044) 摘 要 ： 采用水热法，在 16O℃下反应 48h制得方块 Parvatikar等将 WO。与聚乙烯 复合 ，湿度变化 10 ， 状的wO。纳米孔柱 阵列，并使用扫描 电镜和 X射线 响应时间也至少需要 4～5s_1。快速的响应是选择敏 衍射仪对样品进行 了物相和形貌分析。为验证该材料 感材料的一项重要标准，因此提高WO。材料的湿敏响 在湿度感应方面的结构优势，制作 了基于单块WO。方 应速率是一个亟待解决的问题。本文采用水热法刻蚀 块的微型湿度感应器。测试结果显示，在相对湿度为 生长出一种新型的方块状 wO。纳米孔柱阵列。其独 2O96／～75 的范围内，感应器的电阻几乎随相对湿度 特的微 ／纳复合结构，使该材料不仅具有极大的比表面 的增加而线性减小；感应器对在 2O 和 6O 两者间周 积，而且规则的孔柱间隙也能为气体分子的传输提供 期性变化 的湿度表现 出极快速的响应 (约 2s)，且具有 有效的通道 。另外 ，分散的微米方块也使器件 的制作 良好的稳定性和重复性。分析表明质子导 电对该感应 非常方便 。已有的研究结果表明，基于单块 wO。孔柱 器的湿度感应起主要贡献 。 阵列的感应器在光敏性能方面显示 出超高的灵敏性和 关键词 ： 水热法；氧化钨；方块 ；纳米孔柱 阵列；湿度 极快的响应速率_l。 感应器 基于以上考虑 ，本文拟采用水热法制备方块状 中图分类号 ： O471．1；TB34 文献标识码 ：A wO。孔柱阵列 ，然后在 Au电极上制作基于单块 WO。 文章编号 ：1001—9731(2011)ll一1981—04 孔柱阵列的微型湿度感应器 ，测试元件的湿度感应性 能，并分析测试结果 。期望利用该材料 的结构优势提 1 引 言 高wO。的湿敏响应速率 。 近年来 ，人们 的环境保护意识 日益增强。作为获 2 实 验 取环境 中信息的重要途径和有力手段 ，感应器一直是 许多学者研究的焦点。 目前各领域 已有一些使用广 2．1 WO。方块的制备 泛、性能也较稳定的感应器，但对于新型敏感材料的开 实验中所用药品均为分析纯(AR)。典型的制备 发仍具有极大的科研和实用价值 。此外，器件 的微纳 过程如下 ：分别称量 0．2mmol的Na2WO 和0．8mmol 化也给研究及制造提出了新的挑战。陶瓷半导体材料 的NaSO ，将其溶于 20mL去离子水 中，搅拌均匀 。 三氧化钨 (WO。)具有 良好的物理及化学稳定性 ，在感 逐滴滴人事 先 配制好 的摩 尔浓度 为 3mmol／L 的 应器 、电致变色_2]、光催化等口诸多领域有着广泛的 HNO。溶液，使混合溶液的pH值达到1．7。将以上混 应用。1967年 Shaver首次报道 了 wO。的气敏性 合液移入容积为 25mL的Teflon容器 中，用不锈钢高 质 ]，WO。作为一种极具前景的敏感材料引起 了越来 压釜进行密封 。将高压釜置于已事先加热到 160℃的 越多的关注 。研究表明，WO。对许多气氛，如 H。S 、 恒温炉中，保温 48h后，将高压釜取出。待高压釜冷却 NO ]、O。[等，表现出极强的敏感性。wO 对水汽 至室温 ，取 出Teflon，用去离子水和无水 乙醇清洗产 的敏感