脉冲Nd∶YAG激光烧蚀Al产生等离子体特征辐射的机理研究.pdfVIP

第 卷 第 期 原 子 与 分 子 物 理 学 报 ， 17 1 Vol . 17 . 1 年 月 ， 1 . 文章编号： （ ） 1 1 脉冲 激光烧蚀 l 产生等离子体 特征辐射的机理研究* 1 黄庆举 ，方尔梯 （ 哈尔滨工业大学威海分校理学系，威海 ； 华东理工大学化学物理研究室，上海 ） 1 . . 7 摘要：采用时间与空间分辨光谱测量技术，研究了在 气为缓冲气体下，用脉冲 激光 烧蚀 l 产生等离子体的发射光谱及其随气压的变化规律，对粒子的激发机理进行了讨论，认为 特征谱线是由复合辐射为主要机理，并用此结论在一定程度上解释了实验结果。 关键词： 激光；激光等离子体；特征谱线；时间与空间分辨光谱 中图分类号： 文献标识码： . 1 1 引言 激光与金属作用产生了等离子体，这个等离子体是很不稳定的。从动力学来分析它的 形成、传播到消失，是经历了一个电子、原子、离子、分子、粒团之间相互碰撞作用的过程。这 一过程的研究随着激光烧蚀溅射技术的应用与开发，一直引人注 目。近年来，许多工作集中 在激光诱导等离子体发射光谱特点的研究。在研究的过程中，人们往往采用改变作用条件 的方法，诸如用不同的激光波长、脉宽、强度、靶材料、环境气体的压强以及其它因素，对靶的 烧蚀速率、产物平动能以及产物光辐射的规律等进行了大量的工作，使人们对激光烧蚀过程 有一定的认识。但迄今为止，人们对激光等离子体光辐射 的机理颇有争议。o ［］ 1 认为，等离子体的原子辐射来 自激光烧蚀溅射出的物质团簇或颗粒在等离子体中 ［］ 被电子汽化并激发。 . . 等人 则认为粒子与处于激发亚稳态气体的碰撞增加了粒子 ［］ 的激发。 . 认为粒子与亚稳态气体的碰撞而导致的激发效率很低。 . 等 ［］ 人 认为复合过程可能是粒子激发的主要过程。本文用 1 激光与 l 作用的方式，采 用时间与空间分辨光谱的测量技术，研究了等离子体的发射光谱及其随气压的变化规律，对 粒子的激发机理进行了讨论。 实验 实验装置如图 所示。脉冲 激光器（ ）通过一个透镜（ ）， 1 1 f 1 收稿 日期： * 1111 基金项 目：本工作为国家 自然科学基金资助项 目（ ） 71 作者简介：黄庆举（ ），男，山东省苍山县人，哈尔滨工业大学威海分校理学系讲师，硕士，主要从事激光与物 1 质作用的机理研究。 64 原 子 与 分 子 物 理 学 报 2000 年 经过石英窗进入真空室，垂直聚