压电双晶片作为驱动的精密定位机构研究.pdfVIP

压电双晶片作为驱动的精密定位机构研究 张 斌 ，陈西平 ，浮红霞 ，杜习波 (1．河南理工大学机械与动力工程学院，河南 焦作 454000；2．河南理工大学国有资产管理处， 河南 焦作 454000) StudyonPrecisionPositioningMechanism DrivenbyPZT Bimorph ZHANG Bin ．CHEN Xi—ping 。FU Hong—xia ，DU Xi—bo (1．Schoo1ofMechanicsandPowerEngineering，HenanPolytechnicUniversity，Jiaozuo454000，China；2．Stated—owned AssetsManagementBureau，HenanPolytechnicUniversity，Jiaozuo454000，China) 摘要 ：设计 了一种用柔性铰链作为弹性导轨 ，压 造、超精密加工 、生物工程和医疗科学等方面发挥了 电双晶片作为驱动 器，结合三 角型放 大原 理实现 的 很重要的作用 。压 电驱动器 由于具有响应速度快、 精密定位机构，并采用精密 电感式微位移传感器 承载能力高、能耗和价格低 、并且生产工艺 比较成熟 (LVDT)进行位移检测。实验表 明，该精密定位机 等优点，越来越受到人们关注 。压电双晶片作为压 构运动范围为 O～25 m，定位精度达到 15nm。 电驱动器 的一种 ，由于具有大变形能力、响应速度 关键词：压电双晶片 ；精密定位机构；柔性铰链 快、位移可重复性好、结构简单和无磁干扰等优点， 中图分类号：TN384 使用率越来越高 [1]。 文献标识码 ：A 1 理论依据 文章编号 ：100l一2257(2009)06—0039—03 Abstract：Thispaperpresentsan investigation 1．1 压 电双晶片 aboutprecision positioningmechanism ，which used 压 电双晶片是一种应用很广 的压电陶瓷元件， flexible hinge as flexible guide，piezoelectric bi— 广泛应用于声学检测、超声马达、激光束偏转器、自 morph asactuator，combinedwith themagnifying 适应光学系统、滤波器 、加速度器 、光学斩波器及生 principleoftriangular，andusedlinearvariabledif— 物、化学传感器等方面。近年又用于微型机器人及 ferentialtransformer (LVDT)asdisplacementde- 微控制器中[2]。 tection．Theexperimentsshow thattheprecisepo— 压电双晶片的结构如图 1所示 。中间为一弹性 sitioningmechanism ’Smotion rangeis0～ 25p．m ， positioningaccuracy is15nm． Keywords：piezoelectricbimorph；precisionpo— 金属层 压 电晶片层 sitioningmechanism ；flexiblehinge (a)变形前 一 伸长 一 0 引言 在微型装置的研究制造与开发利用 中，常采用 电机驱动的丝杠螺母微进给系统，定位精度很难达