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丝网印刷及磁场取向工艺制备 钡铁氧体厚膜研究 陈中艳，冯刚坤，熊炫 (华中科技大学电子科学与技术系，湖北武汉430074) 摘要：本文采用丝网印刷工艺在陶瓷基片上制备了六角钡铁氧体厚膜，并研究丝网 印刷及磁场取向工艺对厚膜磁特性的影响。结果表明，取向后膜的剩余磁化强度(Mr)大大 提高．随着取向磁场的增加，矩形比(洲。)由未取向时的0．54提高到0．84，具有明显 的磁各向异性． 关键词：钡铁氧体厚膜：丝网印刷；取向；矩形比 1 引言 随着微波技术的不断发展，微波元件及相关介质材料的研究日益受到重视。 整机系统的小型化、轻量化、集成化、平面化成为电子系统发展趋势，这对器 件和材料提出了新的要求。传统微波铁氧体器件在工作时需要外加恒定磁场【11。 不利于器件小型化。所以传统微波铁氧体器件很难同时满足高频化、小型化两 方面的要求。自偏置器件的概念在1970年被首次提出后引起了众多学者的关注 【21。自偏置是利用材料本身所具有的磁晶各向异性场来部分乃至全部取代外加 恒磁场，以减轻器件的重量，缩小器件的体积，被视为是解决以上矛盾的出路 之一13羽。微波磁性材料中的六角钡铁氧体应用于微波频段具有一系列优点， 具有较高的饱和磁化强度和强的各项异性场，是一种很重要的微波铁氧体材料。 特别是它具有高的各向异性场(HA=17000Oe)，利用该特性有望在毫米波器件的 内调整各向异性场的大dd31。因而研究六角铁氧体厚膜工艺及其磁特性有着重 要的实际意义。 为了得到性能优良的钡铁氧体厚膜，国外学者对各种制备工艺进行了大量 62 研究。采用脉冲激光沉积法【6-91、溶胶．凝胶法【6】【101、液相外延法【1l‘131。但以 上方法要么生产效率低下，成本高，要么不具备自偏置特性，在器件小型化方 面没有优势。丝网印刷是一种很有潜力的制备厚膜的工艺，它有着其它几种工 艺不具有的优点。比如成膜容易，效率高，膜厚容易调整，生产成本低等【3剖。 目前国际上有不少学者对丝网印刷厚膜六角铁氧体进行了研究。美国东北大学 Yajie 调的厚膜，采用热压烧结及磁场取向后，其气孔率明显降低，剩磁增加显著， 矩形比提高到0．95【1训。为了满足以后器件逐渐与单片微波集成电路集成的趋势， 制备的厚膜要在工艺上与集成电路工艺兼容，所以他们还尝试在Si、a-Si02等 基片上生长钡铁氧体厚膜，并研究其磁特型b】。伯明翰大学的z．C．Yuan等人也 采用丝网印刷工艺制备了锶铁氧体厚膜【l61。本文采用传统陶瓷工艺制备了印刷 用前躯体钡铁氧体粉末，丝网印刷成型，研究了磁场取向工艺对样品磁特性的影 响规律，并探讨其内在机理，从理论上对影响剩磁的原因进行了初步的分析。 2实验过程 本实验整个T艺流程如图1所示： I墨竺竺竺兰兰H型竺兰!竺竖卜l兰竺竺兰苎I—◆I兰竺兰!竺型l匝巫蜀{回固叶区亘困 斗臣因一[互] 图1实验工艺流程图 采用山东春光股份有限公司磁性材料厂生产的99．3％Fe203，中南化工试剂 到平均粒径为0．851．tin的粉末。印刷浆料由预烧好的铁氧体粉末、有机载体和 玻璃相三部分组成，有机载体由有机溶剂(松油醇)和增稠剂(乙基纤维素) 按一定比例得到，在有机载体中添加表面活性剂、流延控制剂、触变剂来提高 膜的平整度。浆料通过250目丝网印刷到三氧化二铝基板上，湿膜经短暂摊平 63 后进行磁场取向，改变外加磁场，研究取向磁场变化对钡铁氧体剩余磁化强度 大小的影响。在烧结过程中采用了加压烧结，升温速率为2C／min上升到600 ℃．保温半小时，目的是排除有机溶剂。然后以3。C／min的速率上升到烧结温度 1200℃，保温5小时。其中浆料的准备、印刷过程的控制、外加磁场取向、加 压烧结等几个环节对膜的磁特性影响较大。 B．V公 司X’Pert Shore 200型号SEM对膜表面和断面进行形貌分析，Lake7407振动样品磁强 计(VSM)分析样品的磁滞回线，测试