导模共振滤光片的研究进展.pdfVIP

第34卷 第 1期 激 光 技 术 Vo1．34．No．1 2010年 1月 LASER TECHN0L0GY Jnauray，2010 文章编号：1001—3806(2010)01·0071—04 导模共振滤光片的研究进展 王 琦，张大伟，陈家璧，庄松林 (上海理工大学 光学工程与电子信息学院，上海200093) 摘要：通过对导模共振滤光片的研究与发展的介绍，总结了其机理、优异特性及应用领域，重点介绍的是亚波长导 模共振滤光片的单层、双层和3层结构的设计。归纳了它的制作原理，提出了制作难点和关键技术。结果表明，导模共 振滤波器具备高峰值反射率，低旁带反射，窄带以及带宽可控等优良特性，具有重要的研究意义和应用价值。 关键词：光学器件；导模共振；光栅；波导 中图分类号：TN25 文献标识码 ：A doi：10．3969／j．issn．1001—3806．2010．01．020 Recentprogressofguided—moderesonancefilters WANGQi，ZHANGDa—wei，CHENJia—bi，ZHUANGSong-lin (CollegeofOpticsandElectronicInformationEngineering，UniversityofShanghaiforScienceandTechnology，Shanghai200093， China) Abstract：Thelatestdevelopmentofguided—mode resonancefilterswasreviewed．Then itsmechanics，advantagesand applicationfieldsweresummarized．Thedesignofsingle，doubleandtriple—layerofsub—wavelengthguided—moderesonancefilters wasdescribedindetail．Afterdiscussingitsfabricationprinciple，thefabricationdifficultiesnadkeytechnologyofguided—mode resonancefilterswerepresented．Itisconcludedthatugided—moderesonancefiltersexhibitexcellentcharacteristicswith high reflectance，low sidebands，na~ow bandandcontrollablespectralwidth，whichhaveimportantresearchmeaningsandapplication value． Keywords：opticaldevices；ug ided—moderesonance；grating；wave—ugided 相 比，GMRF具有以下优点 -5l：极窄的带宽，理论上可 引 言 以达到0．01nm；极高的反射，理论上可 以达到 100％； 导模共振滤光片 (guided．moderesonantfilter，GM— 相对简单的结构，很少的层数如单层或2至3层；不严 RF)在理论和实际运用上都具有重要的物理意义和研 格的薄膜层厚度误差。第3个原因是它优秀的光学特 究价值。它通常表现为介质光栅的反射异常，即当入 性，如共振波长和带宽可控、线形对称以及在很宽的波 射波的波长、入射角或光栅结构参量作微小变化时，光 长范围内旁带值被抑制