SQDM+1600型全玻璃真空太阳集热管双室连续镀膜线简介.pdfVIP

庆 ∞T氍2011中国太阳能热利用行业年会既高峰论坛 1600 SQDM 北京清华阳光能源开发有限责任公司韩成明李旭光黄哲林 摘要：本文分析了现有用于制备全玻璃真空太阳集热管选择性吸收涂层的各种单室、多室镀膜系统存在的不足之处，对SQDMl600型 全玻璃真空太阳集热管双室连续镀膜线的运行原理、技术参数、产品性能及节能降耗等方面进行了简要的介绍。 关键词：双室 集热管 溅射选择性吸收涂层 O 前言 3)．过多的单台设备增加了产品在生产线上传输 太阳能选择性吸收涂层是全玻璃真空集热管的关 的复杂性，增加了集热管外观划伤的比率，降低产品质 键技术，而磁控溅射镀膜技术是目前制备全玻璃真空 量，同时也大幅度增加了设备的维护难度。 太阳集热管选择性吸收涂层的主要技术手段。自上个 针对上述问题，有关集热管镀膜机厂家分别开发 世纪七十年代，清华大学殷志强教授发明了铝氮铝选 了五室六锁12靶位和七室八锁13靶位连续镀膜机。 择性吸收涂层及全玻璃真空太阳集热管以来，随着选择 此类镀膜机均采用镀膜室直线串联两端进出，传输轨 性吸收涂层和集热管技术的不断发展，用于制备伞玻璃 道室外大回路循环模式，虽然解决了单室镀膜机存在 真空太阳能集热管的磁控溅射镀膜设备也取得了长足 的诸多问题，但也同时存在其他方面的问题： 的进步。磁控溅射镀膜设备已经从甲．期的第一代生产形 ①．多真空室直线串联导致系统复杂，．故障隐患多； 卧式单靶单室镀膜机发展到第二代立式单靶／三靶镀 ②．过多的真空室导致真空室之问切换频繁，非工 膜机，一些企、世已经开始采用第三代自动化多室多靶及 艺时间增加，效率降低。 连续镀膜系统，初步实现了全玻璃真空太阳集热管生产 ③．真空腔体和机组较多，不便于真空室的清理和 的自动化控制，有效提高了全玻璃真空太阳集热管太 节能。 阳选择性吸收涂层的生产效率和产品质量。 ④．复杂的传输和切换容易造成传输故障。 目前，多数太阳能集热管生产企业仍然采用的是 ⑤．上下T件区域长，产品传输不方便。 单室单靶／三靶镀膜机，此类镀膜机市场仍然占据着主 基于上述因素，我们研制了双室多靶共溅磁控溅 流市场。单室镀膜机主要存在以下几个方面的问题： 射镀膜系统。 1)．单室镀膜时，每次工艺结束必须要将镀膜窜暴露 大气，取出和安装下件，这样大气中的水蒸气不断的进入 1双室多靶共溅镀膜线运行原理 到真空室内，吸附到真空室壁上，随着真空室壁涂层厚度 双室多靶共溅连续镀膜机主要基于以下几个方面 增加，吸附的水蒸气也越来越多，这将导致系统的抽速不 的考虑进行设计和实施的： 断下降，不但影响生产效率，同时也影响产品质量。 ①．基于单室单靶或三靶共溅，集热管围绕溅射靶 2)．由于单台镀膜设备的产能低，规模化生产时， 进行公自转运行模式，实现一个镀室内完成全部或关键 需要大量的单机设备才能满足生产的需求。而过多的 镀膜T艺，消除镀膜室之间的切换，降低设备复杂程度； 设备很难保证产品质量的一致性。 ②．采用单一过渡室模式，实现镀膜室和外部空间 ·J64· 2011中国太阳能热利用行业年会锈高峰论坛 的完全隔绝．确保镀膜室始终处于真空状态．消除外部 车b上的集热管进行链膜。 环境对镀膜室的影响； 在镀膜室对集热管小车b上集热管进行镀膜时， ③镀膜室采用多靶共溅模式，提高溅射速率，集热 预抽室暴露大气．通过离台器h实现预抽窒和外部旋 管支架则采用双层公自转转架，提高了单批次生产量； 转盘的联动，实现集热管小