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曼王 电镀 ≥
Metallzalion&Plaling:
导通孔填充简介
翟 硕 编译
. 摘 要 文章介绍了导通孔的电镀填充的几种影响因素,重点介绍了电镀液中的添加剂的作用及其对填孔效果的
影响
关键词 导通孔填子L;添加剂
中图分类号:TN41 文献标识码:A 文章编号:1OO9一O096(2OO8)11一O041—03
BriefDescripti0n0fViaFill·plating
。
Z , 0
Abstract ispaperiIl缸Dducedseverale行eI。tswhichiIlnuencethefiUplacingOfvia,tl1efunctiOn0ftheadditive
intheplatingsOlutiOnaJldefflectofwtlicht0ViafillingwerealsOexpressedinmispaper.
KeywOrds Viaf_lIpIatlng:additiVes
()前言 的循环利用上有着明显优势。
在 2004年美国电气及电子工程师有关VLSI线路 1 环境优势
的专业研讨会上,ShekharBorkar(Circuit微处理 传统的酸性 电镀液中去除有机污染的方法有活
研究中心主管)提出没有任何东西能够取代铜在线 性炭法、活性炭与过氧化氢结合法,但研究者发现
路导通中的作用。他的这种评论主要根据铜在IC 这些方法在周期性脉冲 电镀中都不能得到令人满意的
(集成 电路)制造及其一级与二级封装上应用,而 效果,比如槽液的分散能力 以及铜沉积后的金属特
不是参照远距离数据传输。铜取代了Ic制造所用的 性都会随着时间的延长而遭到破坏。一种新型的UV
铝材料,铜柱可 以和焊料凸点相媲美,并且新的电 氧化工艺对于去除槽液中的有机污染物非常有效,
镀工艺和电镀液组成允许从底部到顶部的导通孔填充 我们可 以通过检测有机碳化物总量和高性能液态气相
过程中微导通孔会随着电镀的进行慢慢闭合起来, 色谱分析得到说明。在该工艺过程中,硫化物被氧
这种工艺也有助于硅导通孔的金属化。其它进一步 化成硫酸盐,有机物则转变为二氧化碳或更高的化
的研究已经清楚地说明了电镀液中的添加剂和其它参 合物,而这些生成物都不具备电气活性。紫外线辐
数在这些导通孔填充过程 中所起的作用。另外,从 射通过过氧化氢形成 OH (氧化氢),它再从有机
电镀操作来看,这项技术在电镀液的还原和清洗水 物中提取氢元素,然后和氧进行反应形成过氧化
PrintedCircuitlnfon11ati0n印制电路信息删 ^ ,,… … …
:
… … · 孔 化 与 电 镀 ;;.
MetaIIzatiOn&Platjng… ·……… ·…………………………… ………………
物,进一步氧化变成二氧化碳 。研究发现这种方法
一
在其它电镀液的还原或废水处理上也非常有效 (比
如从耗尽的化学铜槽
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