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纳米阻抗显微镜的研制及商品化 165
纳米阻抗显微镜的研制及商品化
The andCommercializationofNanoscale
Development
ImpedanceMicroscopy
丁喜冬1，关景新1，黄龙飞1，吴浚瀚2
DING Jun-han2
Xi—don91，GUANJing—xinl，HUANGLong—feil，WU
(1Schoolof and Yat—sen
PhysicsEngineering，SunUniversity，
510275，China；2Nano-Instruments100080，China)
Guangzhou Being Ltd．，Beijing
摘要：纳米阻抗显微镜(Nanoscaleimpedancemicroscopy，NIM)能够测量材料表面的纳米微区阻抗性质，已经成为纳米
材料表征的重要工具，得到越来越多的应用；但其应用目前仅局限于实验室范围，而国内尚未有纳米阻抗显微镜研究的
文献报道。本文主要介绍纳米阻抗显微镜的基本原理及其仪器的研制。以国内外现有的扫描探针显微镜仪器为基础，
研制出了两套不同的纳米阻抗显微镜样机，并率先实现了这种技术的商品化，还利用该技术开展了氧化锌多晶陶瓷材料
的应用研究。
关键词：纳米阻抗；扫描探针显微镜；商品化
中图分类号：TNl6文献标识码：A 文章编号：1001—4381(2008)10-0165-04
Abstract：Nanoscale canmeasurethelocal ofmaterial
impedancemicroscopy(NIM)，whichimpedance
an instrumentmaterialcharacterizationon ofNIM
surface，iS for nanoscale．The
important application
overseasstilllimitedon noreferencea—
hasbeen extended laboratories
greatly recently though though
boutitwasfound this ofNIMisintroducedanditsrealizationis
paper，theprinciple
domestically．In
oncommercial variousNIMwere
presented．Base scanningprobemicroscopies(SPM)．tWOdeveloped
forthe
andthecommercializationofNIMcametrue firsttimewithahome-madeSPM．The
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